特定结构实验腔室内的压力和温度分布规律研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-14页 |
| 1.1 课题来源及研究意义 | 第10页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第10页 |
| 1.1.2 研究意义 | 第10页 |
| 1.2 国内外研究现状及发展趋势 | 第10-12页 |
| 1.3 课题研究内容及结构 | 第12-13页 |
| 1.4 本章小结 | 第13-14页 |
| 第二章 腔室搭建及前期准备 | 第14-26页 |
| 2.1 特定结构实验腔室搭建 | 第14-17页 |
| 2.1.1 进气系统 | 第14-15页 |
| 2.1.2 匀气系统 | 第15-16页 |
| 2.1.3 抽气系统 | 第16页 |
| 2.1.4 特定结构试验腔室 | 第16-17页 |
| 2.2 实验前期准备 | 第17-18页 |
| 2.3 实验腔室的漏率分析 | 第18-25页 |
| 2.3.1 检漏方法 | 第18-19页 |
| 2.3.2 检漏装置 | 第19页 |
| 2.3.3 气密性对腔室内压强均匀性的影响 | 第19-20页 |
| 2.3.4 检漏过程 | 第20-22页 |
| 2.3.5 系统漏率分析 | 第22-25页 |
| 2.3.6 实验结论 | 第25页 |
| 2.4 本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 引管法测量腔室内压强的可行性分析 | 第26-42页 |
| 3.1 实验理论基础 | 第26-28页 |
| 3.1.1 稀薄气体流动状态 | 第26页 |
| 3.1.2 流动状态的判别 | 第26-27页 |
| 3.1.3 管道的流导 | 第27-28页 |
| 3.2 引管长度对压强测量和响应时间的影响 | 第28-33页 |
| 3.2.1 实验方案设计 | 第28-29页 |
| 3.2.2 引管长度对压强测量的影响 | 第29-31页 |
| 3.2.3 引管响应时间的研究 | 第31-33页 |
| 3.2.4 实验结论 | 第33页 |
| 3.3 测量中的引管误差 | 第33-35页 |
| 3.3.1 实验方案设计 | 第33-34页 |
| 3.3.2 数据处理与结果讨论 | 第34-35页 |
| 3.4 真空压强测量的不确定度评定 | 第35-41页 |
| 3.4.1 实验方案设计 | 第35-36页 |
| 3.4.2 实验过程及结果 | 第36-38页 |
| 3.4.3 标准不确定度计算 | 第38-41页 |
| 3.4.4 结果讨论与分析 | 第41页 |
| 3.5 本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 动态气流下腔室内的压差测量 | 第42-50页 |
| 4.1 实验理论基础 | 第42页 |
| 4.2 实验方案设计 | 第42-44页 |
| 4.3 数据处理及结果分析 | 第44-49页 |
| 4.3.1 引管与出气口处之间的压差测量 | 第45-47页 |
| 4.3.2 引管与腔壁之间的压差测量 | 第47-49页 |
| 4.3.3 实验结论 | 第49页 |
| 4.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 第五章 腔室内承载台温度分布规律研究 | 第50-62页 |
| 5.1 温度测量方法 | 第50-51页 |
| 5.2 实验设计 | 第51-52页 |
| 5.3 数据处理与结果分析 | 第52-61页 |
| 5.3.1 承载台的温度分布规律研究 | 第52-58页 |
| 5.3.2 温度随腔室内压强的变化规律 | 第58-60页 |
| 5.3.3 温度随入口流量的变化规律 | 第60-61页 |
| 5.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 第六章 结论及展望 | 第62-64页 |
| 6.1 结论 | 第62页 |
| 6.2 展望 | 第62-63页 |
| 6.3 论文创新点 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 攻读学位期间发表论文 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
