| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 课题研究的背景及意义 | 第8-10页 |
| 1.2 研究现状 | 第10-12页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第12-13页 |
| 1.4 论文的组织结构 | 第13-14页 |
| 2 光学平面的绝对检测技术 | 第14-35页 |
| 2.1 菲索型移相干涉仪 | 第14-19页 |
| 2.1.1 基本原理 | 第14-15页 |
| 2.1.2 移相检测方法(PSI) | 第15-18页 |
| 2.1.3 移相检测方法精度 | 第18-19页 |
| 2.2 传统三平面互检法 | 第19-22页 |
| 2.2.1 基本原理 | 第19-20页 |
| 2.2.2 仿真计算 | 第20-22页 |
| 2.3 基于Zernike多项式拟合的三平面互检法 | 第22-35页 |
| 2.3.1 Zernike多项式拟合原理 | 第22-25页 |
| 2.3.2 干涉检测原理 | 第25-27页 |
| 2.3.3 仿真计算 | 第27-35页 |
| 3 干涉检测误差源分析 | 第35-46页 |
| 3.1 检测随机误差源分析 | 第35-39页 |
| 3.1.1 空气折射率影响 | 第35-38页 |
| 3.1.2 检测环境温度对检测平面影响 | 第38-39页 |
| 3.2 检测系统误差源分析 | 第39-46页 |
| 3.2.1 光轴偏离影响 | 第39-41页 |
| 3.2.2 旋转角度偏差影响 | 第41-42页 |
| 3.2.3 检测面型面积截取的影响 | 第42-45页 |
| 3.2.4 系统综合误差分析 | 第45-46页 |
| 4 实验研究及分析 | 第46-61页 |
| 4.1 检测设备 | 第46-48页 |
| 4.2 检测实验 | 第48-58页 |
| 4.2.1 随机误差检测实验标定 | 第48-50页 |
| 4.2.2 利用MetroPro~(TM)进行传统三平面互检法检测 | 第50-52页 |
| 4.2.3 基于Zernike多项式拟合的三平面互检法检测 | 第52-57页 |
| 4.2.4 检测系统误差对Zernike多项式拟合三平面互检法影响实验 | 第57-58页 |
| 4.3 实验误差分析 | 第58-61页 |
| 4.3.1 温度标定误差 | 第58页 |
| 4.3.2 干涉腔腔长标定误差 | 第58-59页 |
| 4.3.3 光轴偏离标定误差 | 第59-60页 |
| 4.3.4 旋转角度标定误差 | 第60-61页 |
| 5 结论 | 第61-63页 |
| 5.1 研究工作总结 | 第61-62页 |
| 5.2 展望 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-69页 |
