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光学元件表面微观形貌的光学散射特性研究

摘要第3-4页
Abstract第4-5页
1 绪论第8-15页
    1.1 课题研究目的及意义第8页
    1.2 国内外研究现状第8-13页
        1.2.1 国外研究现状第9-11页
        1.2.2 国内研究现状第11-13页
    1.3 本论文主要研究内容第13页
        1.3.1 本文主要研究内容第13页
        1.3.2 本文主要研究工作重点第13页
    1.4 论文章节安排第13-15页
2 随机粗糙面的统计参数与散射基本理论第15-21页
    2.1 粗糙面的微观形貌描述第15页
    2.2 粗糙表面统计参数第15-18页
        2.2.1 高度起伏均方根第15-16页
        2.2.2 自相关函数第16-17页
        2.2.3 功率谱密度第17页
        2.2.4 均方根斜率第17-18页
    2.3 粗糙表面散射近似研究方法第18-20页
        2.3.1 基尔霍夫近似方法第18-19页
        2.3.2 微扰法第19-20页
    2.4 本章小结第20-21页
3 光学元件表面散射理论第21-39页
    3.1 双向反射分布函数的定义第21-24页
    3.2 双向反射分布函数(BRDF)仿真分析第24-31页
        3.2.1 仿真模型的建立第24页
        3.2.2 入射角度对散射特性的影响第24-26页
        3.2.3 入射波长对散射特性的影响第26-28页
        3.2.4 高度起伏均方根对散射特性的影响第28-29页
        3.2.5 相干长度对散射特性的影响第29-31页
    3.3 偏振散射特性研究第31-38页
        3.3.1 各向同性表面偏振散射特性第33-34页
        3.3.2 散射方位角与偏振散射特性的关系第34-36页
        3.3.3 入射角度与偏振散射特性的关系第36-37页
        3.3.4 入射角度与BRDFpp的散射特性的关系第37-38页
    3.4 本章小结第38-39页
4 实验测量装置的搭建第39-47页
    4.1 BRDF测量装置的搭建分类第39-40页
        4.1.1 BRDF的绝对测量方法第39页
        4.1.2 BRDF的相对测量方法第39-40页
    4.2 实验测量原理及平台的搭建第40-45页
        4.2.1 实验测量原理第40-41页
        4.2.2 实验器件的选择第41-42页
        4.2.3 非偏振散射实验平台的搭建第42-44页
        4.2.4 偏振散射实验平台的搭建第44-45页
    4.3 测试步骤第45-46页
    4.4 本章小结第46-47页
5 BRDF实验研究与误差分析第47-60页
    5.1 测试样件的准备第47-49页
    5.2 非偏振BRDF散射分布测量第49-52页
        5.2.1 入射角度对实际表面BRDF的影响第49-51页
        5.2.2 入射波长对实际表面BRDF的影响第51页
        5.2.3 表面粗糙度对实际表面BRDF的影响第51-52页
    5.3 偏振散射特性分析第52-54页
        5.3.1 P偏振实验测量分析第52-53页
        5.3.2 S偏振实验测量分析第53-54页
    5.4 功率谱密度的BRDF测量第54-57页
        5.4.1 PSD分析软件第54-56页
        5.4.2 样件表面的PSD实验测量第56-57页
    5.5 实验误差分析第57-58页
    5.6 本章小结第58-60页
6 结论与展望第60-62页
    6.1 结论第60页
    6.2 展望第60-62页
参考文献第62-67页
攻读硕士学位期间发表的论文第67-68页
致谢第68-70页

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