| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第11-32页 |
| 1.1 立题思想与背景 | 第11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-26页 |
| 1.2.1 石墨烯的结构与性质 | 第11-13页 |
| 1.2.2 氧化石墨烯的结构与性质 | 第13-16页 |
| 1.2.3 石墨烯材料气敏性能及机理 | 第16-22页 |
| 1.2.4 石墨烯场效应晶体管研究现状 | 第22-26页 |
| 1.3 存在的问题及发展趋势 | 第26-27页 |
| 1.3.1 存在问题 | 第26页 |
| 1.3.2 发展趋势 | 第26-27页 |
| 1.4 选题依据及意义 | 第27-28页 |
| 1.5 研究内容、目标及解决的关键问题 | 第28-29页 |
| 1.5.1 研究内容 | 第28-29页 |
| 1.5.2 研究目标 | 第29页 |
| 1.5.3 解决的关键问题 | 第29页 |
| 1.6 研究方案 | 第29-30页 |
| 1.7 主要创新点 | 第30页 |
| 1.8 主要工作量 | 第30-32页 |
| 2 氧化石墨烯薄膜厚度对元件湿敏性能影响 | 第32-48页 |
| 2.1 实验 | 第32-34页 |
| 2.1.1 实验原料、试剂和装置 | 第32页 |
| 2.1.2 实验及步骤 | 第32-34页 |
| 2.1.3 样品表征 | 第34页 |
| 2.2 氧化石墨烯薄膜的属性特征 | 第34-39页 |
| 2.2.1 氧化石墨烯薄膜的形貌特征 | 第34-35页 |
| 2.2.2 氧化石墨烯薄膜的结构特征 | 第35-37页 |
| 2.2.3 氧化石墨烯薄膜的官能团特征 | 第37-38页 |
| 2.2.4 氧化石墨烯薄膜的厚度表征 | 第38-39页 |
| 2.3 不同厚度氧化石墨烯薄膜元件湿敏性能 | 第39-45页 |
| 2.3.1 湿敏测试装置及原理 | 第39-40页 |
| 2.3.2 不同厚度氧化石墨烯薄膜元件湿敏静态响应 | 第40-43页 |
| 2.3.3 不同厚度氧化石墨烯薄膜元件湿敏动态响应 | 第43-44页 |
| 2.3.4 不同厚度氧化石墨烯薄膜湿敏元件重复和稳定性 | 第44-45页 |
| 2.4 湿敏性能机理分析 | 第45-47页 |
| 2.5 本章小结 | 第47-48页 |
| 3 还原氧化石墨烯还原程度对元件气敏性能影响 | 第48-62页 |
| 3.1 实验 | 第48-50页 |
| 3.1.1 实验原料、试剂和装置 | 第48-49页 |
| 3.1.2 实验及步骤 | 第49页 |
| 3.1.3 样品表征 | 第49-50页 |
| 3.2 热还原氧化石墨烯的属性特征 | 第50-54页 |
| 3.2.1 氧化石墨烯热分析 | 第50-51页 |
| 3.2.2 热还原氧化石墨烯的结构特征 | 第51-53页 |
| 3.2.3 热还原氧化石墨烯的官能团特征 | 第53-54页 |
| 3.3 热还原氧化石墨烯元件的电学特性 | 第54-57页 |
| 3.3.1 伏安特性 | 第54-56页 |
| 3.3.2 阻温特性 | 第56-57页 |
| 3.4 不同还原温度氧化石墨烯元件的H2敏 感性能 | 第57-60页 |
| 3.4.1 不同还原温度氧化石墨烯元件H2敏 感性静态响应 | 第57-58页 |
| 3.4.2 不同还原温度氧化石墨烯元件H2敏 感性动态响应 | 第58-60页 |
| 3.5 本章小结 | 第60-62页 |
| 4 石墨烯 -聚 苯胺复合薄膜的NH3敏 感性能研究 | 第62-73页 |
| 4.1 实验 | 第62-64页 |
| 4.1.1 实验原料、试剂和装置 | 第62-63页 |
| 4.1.2 实验及步骤 | 第63-64页 |
| 4.1.3 样品表征 | 第64页 |
| 4.2 石墨烯 -聚 苯胺复合材料的属性特征 | 第64-67页 |
| 4.2.1 石墨烯 -聚 苯胺复合材料的形貌特征 | 第64-65页 |
| 4.2.2 石墨烯 -聚 苯胺复合材料的结构特征 | 第65-66页 |
| 4.2.3 石墨烯 -聚 苯胺复合材料的官能团特征 | 第66-67页 |
| 4.3 不同质量比石墨烯 -聚 苯胺复合材料NH3敏 感性能 | 第67-70页 |
| 4.3.1 静态响应 | 第67-69页 |
| 4.3.2 动态响应 | 第69-70页 |
| 4.4 气敏机理分析 | 第70-71页 |
| 4.5 本章小结 | 第71-73页 |
| 5 石墨烯场效应晶体管结构设计研究 | 第73-82页 |
| 5.1 石墨烯场效应晶体管基础 | 第73-76页 |
| 5.1.1 石墨烯载流子浓度 | 第73-74页 |
| 5.1.2 石墨烯电子迁移率 | 第74-75页 |
| 5.1.3 石墨烯场效应晶体管的特性 | 第75-76页 |
| 5.2 石墨烯场效应管制作步骤 | 第76-79页 |
| 5.2.1 工艺流程 | 第77-78页 |
| 5.2.2 评价指标 | 第78-79页 |
| 5.3 石墨烯场效应器件的电学性能测试 | 第79-81页 |
| 5.3.1 测试方法及平台 | 第79-80页 |
| 5.3.2 测试结果分析 | 第80-81页 |
| 5.4 本章小结 | 第81-82页 |
| 结论 | 第82-84页 |
| 致谢 | 第84-85页 |
| 参考文献 | 第85-94页 |
| 攻读硕士期间发表的学术论文及研究成果 | 第94页 |
