| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 引言 | 第9-10页 |
| 第1章 文献综述 | 第10-24页 |
| 1.1 氮化钛的结构与性质 | 第10页 |
| 1.2 氮化钛薄膜的应用 | 第10-18页 |
| 1.2.1 氮化钛薄膜在机械加工工业的应用 | 第11-12页 |
| 1.2.2 氮化钛薄膜在装饰方面的应用 | 第12-13页 |
| 1.2.3 氮化钛薄膜在医学方面的应用 | 第13-14页 |
| 1.2.4 氮化钛薄膜在节能涂层方面的应用 | 第14-15页 |
| 1.2.5 氮化钛薄膜在电子器件方面中的应用 | 第15-16页 |
| 1.2.6 氮化钛薄膜在表面增强拉曼光谱中的应用 | 第16-18页 |
| 1.3 氮化钛薄膜的制备方法 | 第18-23页 |
| 1.3.1 物理气相沉积 | 第18-20页 |
| 1.3.2 化学气相沉积 | 第20页 |
| 1.3.3 溶胶凝胶法还原氮化法 | 第20-23页 |
| 1.4 课题的提出 | 第23-24页 |
| 第2章 研究方案 | 第24-29页 |
| 2.1 研究目标 | 第24页 |
| 2.2 研究内容 | 第24页 |
| 2.3 关键问题与创新点 | 第24-25页 |
| 2.3.1 关键问题 | 第24-25页 |
| 2.3.2 创新点 | 第25页 |
| 2.4 实验方案 | 第25-29页 |
| 2.4.1 实验原料与仪器设备 | 第25-26页 |
| 2.4.2 试样制备 | 第26-27页 |
| 2.4.3 性能测试与分析 | 第27-29页 |
| 第3章 氨气还原氮化制备Ti N薄膜过程中组成结构演变及其性能研究 | 第29-44页 |
| 3.1 实验部分 | 第29-30页 |
| 3.1.1 样品制备 | 第29页 |
| 3.1.2 测试与表征 | 第29-30页 |
| 3.2 结果与讨论 | 第30-42页 |
| 3.2.1 TiN薄膜的物相分析 | 第30-31页 |
| 3.2.2 TiN薄膜的XPS元素分析 | 第31-33页 |
| 3.2.3 TiN薄膜的拉曼光谱分析 | 第33-35页 |
| 3.2.4 TiN薄膜的微观形貌分析 | 第35-36页 |
| 3.2.5 TiN薄膜对太阳光谱的选择性分析 | 第36-37页 |
| 3.2.6 TiN薄膜的方块电阻分析 | 第37-38页 |
| 3.2.7 TiN薄膜的SERS性能分析 | 第38-42页 |
| 3.3 小结 | 第42-44页 |
| 第4章 氨气还原氮化制备TiN薄膜的工艺研究 | 第44-78页 |
| 4.1 实验部分 | 第44-46页 |
| 4.1.1 PVP分子量对TiN薄膜显微结构及性能影响 | 第44页 |
| 4.1.2 PVP用量对TiN薄膜显微结构及性能影响 | 第44页 |
| 4.1.3 溶剂用量对TiN薄膜显微结构及性能影响 | 第44-45页 |
| 4.1.4 镀膜次数对TiN薄膜显微结构及性能影响 | 第45页 |
| 4.1.5 预烧温度对TiN薄膜显微结构及性能影响 | 第45页 |
| 4.1.6 升温速率对TiN薄膜显微结构及性能影响 | 第45页 |
| 4.1.7 氨气流速对TiN薄膜显微结构及性能影响 | 第45-46页 |
| 4.1.8 保温时间对TiN薄膜显微结构及性能影响 | 第46页 |
| 4.1.9 测试与表征 | 第46页 |
| 4.2 结果与讨论 | 第46-77页 |
| 4.2.1 PVP分子量对TiN薄膜显微结构及性能影响 | 第46-50页 |
| 4.2.2 PVP用量对TiN薄膜显微结构及性能影响 | 第50-54页 |
| 4.2.3 溶剂用量对TiN薄膜显微结构及性能影响 | 第54-58页 |
| 4.2.4 镀膜次数对TiN薄膜显微结构及性能影响 | 第58-61页 |
| 4.2.5 预烧温度对TiN薄膜显微结构及性能影响 | 第61-65页 |
| 4.2.6 升温速率对TiN薄膜显微结构及性能影响 | 第65-69页 |
| 4.2.7 氨气流速对TiN薄膜显微结构及性能影响 | 第69-73页 |
| 4.2.8 保温时间对Ti N薄膜显微结构及性能影响 | 第73-77页 |
| 4.3 小结 | 第77-78页 |
| 第5章 第二组分添加对Ti N薄膜结构与性能影响的研究 | 第78-99页 |
| 5.1 实验部分 | 第78-79页 |
| 5.1.1 Al添加量对Ti N薄膜结构与性能的影响 | 第78页 |
| 5.1.2 Zr添加量对TiN薄膜结构与性能的影响 | 第78-79页 |
| 5.1.3 Ni添加量对Ti N薄膜结构与性能的影响 | 第79页 |
| 5.1.4 Au添加量对TiN薄膜结构与性能的影响 | 第79页 |
| 5.1.5 测试与表征 | 第79页 |
| 5.2 结果与讨论 | 第79-97页 |
| 5.2.1 Al添加量对Ti N薄膜结构与性能的影响 | 第79-84页 |
| 5.2.2 Zr添加量对TiN薄膜结构与性能的影响 | 第84-88页 |
| 5.2.3 Ni添加量对Ti N薄膜结构与性能的影响 | 第88-92页 |
| 5.2.4 Au添加量对TiN薄膜结构与性能的影响 | 第92-97页 |
| 5.3 小结 | 第97-99页 |
| 结论 | 第99-100页 |
| 参考文献 | 第100-108页 |
| 致谢 | 第108-109页 |
| 导师简介 | 第109-110页 |
| 作者简介 | 第110-111页 |
| 学位论文数据集 | 第111页 |
