| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 1 引言 | 第17-31页 |
| 1.1 课题背景 | 第17-20页 |
| 1.2 硅基MEMS加速度计介绍 | 第20-29页 |
| 1.3 本论文主要研究内容 | 第29-31页 |
| 2 硅基挠性加速度计设计 | 第31-66页 |
| 2.1 弹簧-振子结构设计 | 第31-41页 |
| 2.2 弹簧-振子结构参数优化设计 | 第41-54页 |
| 2.3 电容位移传感与反馈控制设计 | 第54-59页 |
| 2.4 整体设计及版图布局 | 第59-65页 |
| 2.5 小结 | 第65-66页 |
| 3 硅基挠性加速度计加工工艺研究 | 第66-106页 |
| 3.1 硅基挠性加速度计工艺流程设计 | 第66-68页 |
| 3.2 典型单层工艺摸索 | 第68-78页 |
| 3.3 工艺兼容性、稳定性研究 | 第78-102页 |
| 3.4 硅基挠性加速度计加工结果 | 第102-105页 |
| 3.5 小结 | 第105-106页 |
| 4 硅基挠性加速度计测试 | 第106-119页 |
| 4.1 弹簧-振子结构机械性能测试 | 第106-111页 |
| 4.2 硅基挠性加速度计电学性能测量 | 第111-113页 |
| 4.3 加速度计开环检测功能初步实现 | 第113-118页 |
| 4.4 小结 | 第118-119页 |
| 5 硅基挠性加速度计改进与测试 | 第119-144页 |
| 5.1 阵列电容极板位移传感灵敏度影响因素和解决方案 | 第119-128页 |
| 5.2 单电容极板输出“奇异点”问题及其解决方案 | 第128-130页 |
| 5.3 优化后的硅基挠性加速度计检测 | 第130-137页 |
| 5.4 反馈控制功能测试 | 第137-143页 |
| 5.5 小结 | 第143-144页 |
| 6 总结和展望 | 第144-146页 |
| 致谢 | 第146-147页 |
| 参考文献 | 第147-156页 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表的论文和申请的专利 | 第156-157页 |
| 附录2 硅基挠性加速度计各层版图 | 第157-161页 |
| 附录3 工艺清单 | 第161-166页 |