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线性化巨磁阻传感器及其应用研究

摘要第5-6页
abstract第6页
第一章 绪论第9-21页
    1.1 研究背景及意义第9-11页
    1.2 巨磁阻效应的国内外研究历史与现状第11-15页
    1.3 巨磁电阻传感器的应用第15-20页
        1.3.1 磁阻式电流互感器第15-16页
        1.3.2 汽车ABS系统中的应用第16-17页
        1.3.3 地磁场磁检测中的应用第17-18页
        1.3.4 无损检测系统中应用第18-19页
        1.3.5 接近开关中的应用第19-20页
    1.4 本论文结构安排第20-21页
第二章 典型自旋阀结构的巨磁电阻效应研究第21-35页
    2.1 自旋阀结构的原理第21-24页
        2.1.1 自旋阀结构简介第21-22页
        2.1.2 自旋阀结构的磁电阻特性第22-24页
    2.2 自旋阀薄膜的制备工艺及测量第24-25页
    2.3 自旋阀薄膜的性能优化研究第25-33页
        2.3.1 铁磁层在不同气压下的性能研究第25-27页
        2.3.2 铁磁/反铁磁双层交换偏置特性的研究第27-30页
        2.3.4 顶钉扎结构自旋阀的研究第30-32页
        2.3.5 非磁性层厚度优化研究第32-33页
        2.3.6 底钉扎结构自旋阀的优化研究第33页
    2.4 本章小结第33-35页
第三章 巨磁阻传感器的线性化研究第35-51页
    3.1 巨磁阻传感器线性化的基本原理第35-38页
    3.2 线性化巨磁阻薄膜的制备及性能优化研究第38-45页
        3.2.1 线性化的底钉扎结构自旋阀的研究第38-40页
        3.2.2 顶钉扎结构线性化的研究第40-42页
        3.2.3 线性化双交换偏置自旋阀结构的研究第42-44页
        3.2.4 线性化自旋阀结构的灵敏度指标分析第44-45页
    3.3 巨磁阻传感器的微加工制作第45-50页
        3.3.1 巨磁阻线性传感器件工作原理第45-46页
        3.3.2 巨磁阻线性传感器的微加工制作第46-49页
        3.3.3 线性化巨磁阻传感器的测量第49-50页
    3.4 本章小结第50-51页
第四章 线性化巨磁阻传感器的应用研究第51-59页
    4.1 车位检测技术简介第51-53页
    4.2 磁阻式车位检测系统的研究第53-58页
        4.2.1 传感信号采集电路模块第53-55页
        4.2.2 模数转换电路第55页
        4.2.3 单片机处理电路和无线收发模块电路第55-57页
        4.2.4 电源控制模块第57页
        4.2.5 系统测试数据分析第57-58页
    4.3 本章小结第58-59页
第五章 全文总结与展望第59-61页
致谢第61-62页
参考文献第62-64页
硕士期间所取得的研究成果第64-65页

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