线性化巨磁阻传感器及其应用研究
摘要 | 第5-6页 |
abstract | 第6页 |
第一章 绪论 | 第9-21页 |
1.1 研究背景及意义 | 第9-11页 |
1.2 巨磁阻效应的国内外研究历史与现状 | 第11-15页 |
1.3 巨磁电阻传感器的应用 | 第15-20页 |
1.3.1 磁阻式电流互感器 | 第15-16页 |
1.3.2 汽车ABS系统中的应用 | 第16-17页 |
1.3.3 地磁场磁检测中的应用 | 第17-18页 |
1.3.4 无损检测系统中应用 | 第18-19页 |
1.3.5 接近开关中的应用 | 第19-20页 |
1.4 本论文结构安排 | 第20-21页 |
第二章 典型自旋阀结构的巨磁电阻效应研究 | 第21-35页 |
2.1 自旋阀结构的原理 | 第21-24页 |
2.1.1 自旋阀结构简介 | 第21-22页 |
2.1.2 自旋阀结构的磁电阻特性 | 第22-24页 |
2.2 自旋阀薄膜的制备工艺及测量 | 第24-25页 |
2.3 自旋阀薄膜的性能优化研究 | 第25-33页 |
2.3.1 铁磁层在不同气压下的性能研究 | 第25-27页 |
2.3.2 铁磁/反铁磁双层交换偏置特性的研究 | 第27-30页 |
2.3.4 顶钉扎结构自旋阀的研究 | 第30-32页 |
2.3.5 非磁性层厚度优化研究 | 第32-33页 |
2.3.6 底钉扎结构自旋阀的优化研究 | 第33页 |
2.4 本章小结 | 第33-35页 |
第三章 巨磁阻传感器的线性化研究 | 第35-51页 |
3.1 巨磁阻传感器线性化的基本原理 | 第35-38页 |
3.2 线性化巨磁阻薄膜的制备及性能优化研究 | 第38-45页 |
3.2.1 线性化的底钉扎结构自旋阀的研究 | 第38-40页 |
3.2.2 顶钉扎结构线性化的研究 | 第40-42页 |
3.2.3 线性化双交换偏置自旋阀结构的研究 | 第42-44页 |
3.2.4 线性化自旋阀结构的灵敏度指标分析 | 第44-45页 |
3.3 巨磁阻传感器的微加工制作 | 第45-50页 |
3.3.1 巨磁阻线性传感器件工作原理 | 第45-46页 |
3.3.2 巨磁阻线性传感器的微加工制作 | 第46-49页 |
3.3.3 线性化巨磁阻传感器的测量 | 第49-50页 |
3.4 本章小结 | 第50-51页 |
第四章 线性化巨磁阻传感器的应用研究 | 第51-59页 |
4.1 车位检测技术简介 | 第51-53页 |
4.2 磁阻式车位检测系统的研究 | 第53-58页 |
4.2.1 传感信号采集电路模块 | 第53-55页 |
4.2.2 模数转换电路 | 第55页 |
4.2.3 单片机处理电路和无线收发模块电路 | 第55-57页 |
4.2.4 电源控制模块 | 第57页 |
4.2.5 系统测试数据分析 | 第57-58页 |
4.3 本章小结 | 第58-59页 |
第五章 全文总结与展望 | 第59-61页 |
致谢 | 第61-62页 |
参考文献 | 第62-64页 |
硕士期间所取得的研究成果 | 第64-65页 |