| 致谢 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 1 绪论 | 第15-36页 |
| 1.1 背景介绍 | 第15-19页 |
| 1.1.1 光学反射镜的优点和应用 | 第15-18页 |
| 1.1.2 光学反射镜的加工方法 | 第18-19页 |
| 1.1.3 光学反射镜的测量需求 | 第19页 |
| 1.2 面形测量基础理论 | 第19-21页 |
| 1.2.1 面形种类及定义 | 第19-20页 |
| 1.2.2 面形精度评价指标 | 第20-21页 |
| 1.2.3 表面疵病 | 第21页 |
| 1.3 面形测量技术 | 第21-29页 |
| 1.3.1 波面干涉测量技术 | 第22-25页 |
| 1.3.2 相位恢复测量技术 | 第25页 |
| 1.3.3 坐标扫描测量技术 | 第25-28页 |
| 1.3.4 各种面形测量技术的应用场合与需求分析 | 第28-29页 |
| 1.4 非接触扫描式面形测量技术研究状况 | 第29-33页 |
| 1.5 论文的研究意义及研究内容 | 第33-36页 |
| 1.5.1 研究意义 | 第33-34页 |
| 1.5.2 研究内容 | 第34-36页 |
| 2 自动聚焦式面形跟踪测量技术 | 第36-57页 |
| 2.1 引言 | 第36-38页 |
| 2.2 基于机械导轨式音圈电机运动平台的自动聚焦系统 | 第38-47页 |
| 2.2.1 音圈电机 | 第38-42页 |
| 2.2.2 位移反馈 | 第42-43页 |
| 2.2.3 系统调试和性能评估 | 第43-47页 |
| 2.3 基于气浮导轨式音圈电机运动平台的自动聚焦系统 | 第47-55页 |
| 2.3.1 架构设计 | 第47-49页 |
| 2.3.2 气浮导轨设计和装配 | 第49-54页 |
| 2.3.3 性能评估 | 第54-55页 |
| 2.4 小结 | 第55-57页 |
| 3 坐标式面形跟踪扫描测量技术 | 第57-83页 |
| 3.1 引言 | 第57-58页 |
| 3.2 系统架构设计 | 第58-61页 |
| 3.3 四轴运动平台的设计与搭建 | 第61-64页 |
| 3.3.1 直驱运动平台的搭建 | 第61-63页 |
| 3.3.2 运动控制系统 | 第63-64页 |
| 3.4 测量数据的采集和处理 | 第64-68页 |
| 3.4.1 数据采集 | 第64-66页 |
| 3.4.2 测量软件的开发 | 第66-67页 |
| 3.4.3 稳定性测试 | 第67-68页 |
| 3.5 非接触面形测量系统样机 | 第68-69页 |
| 3.6 运动误差测量及补偿 | 第69-78页 |
| 3.6.1 运动误差对面形测量的意义 | 第69-70页 |
| 3.6.2 XY轴定位误差的测量及补偿 | 第70-73页 |
| 3.6.3 XY轴Z向跳动误差测量 | 第73-75页 |
| 3.6.4 转台跳动测量 | 第75-78页 |
| 3.7 测量实验 | 第78-82页 |
| 3.7.1 凹球面镜局部重复测量实验 | 第78-79页 |
| 3.7.2 标准球局部测量实验 | 第79-80页 |
| 3.7.3 高精度倾斜平面镜局部测量实验 | 第80-81页 |
| 3.7.4 测量实例 | 第81-82页 |
| 3.8 小结 | 第82-83页 |
| 4 螺旋扫描测量技术 | 第83-98页 |
| 4.1 引言 | 第83-84页 |
| 4.2 对中误差对测量结果的影响 | 第84-85页 |
| 4.3 螺旋扫描测量的探头对中方法 | 第85-88页 |
| 4.4 对中实验 | 第88-90页 |
| 4.5 验证实验 | 第90-94页 |
| 4.6 对中误差评估 | 第94-97页 |
| 4.6.1 对中误差评估过程 | 第94-97页 |
| 4.6.2 影响对中误差的因素 | 第97页 |
| 4.7 小结 | 第97-98页 |
| 5 反射镜的全口径面形测量和表面疵病测量技术 | 第98-114页 |
| 5.1 引言 | 第98-100页 |
| 5.1.1 异形反射镜测量和边缘测量难题 | 第98-99页 |
| 5.1.2 复杂反射镜的表面疵病测量难题 | 第99-100页 |
| 5.2 色散共焦位移传感器的原理和应用 | 第100-102页 |
| 5.3 反射镜的全口径面形测量技术 | 第102-106页 |
| 5.3.1 测量方法 | 第102-103页 |
| 5.3.2 测量实例 | 第103-106页 |
| 5.4 表面疵病测量技术 | 第106-113页 |
| 5.4.1 测量方法 | 第106-109页 |
| 5.4.2 测量实例 | 第109-113页 |
| 5.5 小结 | 第113-114页 |
| 6 总结与展望 | 第114-117页 |
| 6.1 论文总结 | 第114-115页 |
| 6.2 论文创新点 | 第115页 |
| 6.3 研究展望 | 第115-117页 |
| 参考文献 | 第117-123页 |
| 附录1 f_3的表达式 | 第123-124页 |
| 附录2 f_1的表达式 | 第124-125页 |
| 附录3 f_2的表达式 | 第125-126页 |
| 攻读博士学位期间的成果 | 第126页 |