声表面波器件微制造技术研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-14页 |
| ·研究背景 | 第8页 |
| ·声表面波技术的发展和应用 | 第8-11页 |
| ·声表面理论和波器件的发展应用 | 第8-10页 |
| ·声表面波器件的特点 | 第10-11页 |
| ·课题的研究目的及其研究内容 | 第11-12页 |
| ·研究内容 | 第11-12页 |
| ·技术路线及实验工艺流程 | 第12页 |
| ·本文章节安排 | 第12-14页 |
| 2 硅/压电晶体紫外固化聚合物键合 | 第14-25页 |
| ·压电晶体在声表面波器件中的应用 | 第14-15页 |
| ·NOA材料的特性 | 第15-16页 |
| ·键合技术分类及测试方法 | 第16-17页 |
| ·实验 | 第17-22页 |
| ·工艺过程 | 第17-19页 |
| ·剪切力的测试 | 第19-20页 |
| ·键合能测试 | 第20-21页 |
| ·对界面处胶层厚度的研究 | 第21-22页 |
| ·键合片的减薄和抛光 | 第22-23页 |
| ·LiNbO_3的减薄抛光工艺 | 第22-23页 |
| ·键合片厚度测试 | 第23页 |
| ·本章小结 | 第23-25页 |
| 3 叉指换能器的设计 | 第25-31页 |
| ·叉指换能器的基本理论 | 第25-26页 |
| ·理论基础 | 第25-26页 |
| ·叉指换能器的参数设计 | 第26-28页 |
| ·声表面波谐振器(SAWR)的设计 | 第28-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 4 声表面波器件的有限元仿真 | 第31-46页 |
| ·声波器件的仿真和意义 | 第31页 |
| ·声波器件的有限元仿真 | 第31-35页 |
| ·模型建立 | 第31-33页 |
| ·仿真结果 | 第33-35页 |
| ·基于COM模型的声表面波器件的仿真 | 第35-45页 |
| ·COM理论基础 | 第35-36页 |
| ·声表面波器件的COM理论基础 | 第36-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 5 微制造的光刻部分研究 | 第46-54页 |
| ·器件制作的一般工艺流程 | 第46-47页 |
| ·光刻工艺研究 | 第47-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 6 结论 | 第54-56页 |
| ·论文工作结论 | 第54-55页 |
| ·对未来工作的展望 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-59页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-62页 |
