ITO图形短路检查仪中精密运动平台的设计与研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-17页 |
| ·课题的研究背景及课题来源 | 第10-12页 |
| ·精密运动平台国内外发展现状 | 第12-15页 |
| ·精密加工技术 | 第12页 |
| ·精密运动平台的分类和用途 | 第12页 |
| ·精密运动平台国内外发展现状 | 第12-15页 |
| ·主要研究内容 | 第15-17页 |
| 2 精密运动平台相关理论 | 第17-33页 |
| ·精密运动台概论 | 第17-18页 |
| ·精密运动平台的驱动方式 | 第18-24页 |
| ·高速、高精度直线驱动技术 | 第18页 |
| ·间接驱动技术 | 第18-23页 |
| ·直接驱动技术 | 第23-24页 |
| ·精密运动平台的直线导向技术 | 第24-31页 |
| ·直线导轨的分类和特点 | 第25页 |
| ·导轨的基本性能要求 | 第25-27页 |
| ·导轨受力分析 | 第27-29页 |
| ·滚动摩擦导轨 | 第29-31页 |
| ·精密运动平台的结构型式 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 3 运动平台机械结构设计 | 第33-55页 |
| ·精密运动平台的设计技术要求 | 第33-36页 |
| ·ITO 图形短路检查仪的工作原理 | 第33-35页 |
| ·精密运动平台的技术要求 | 第35-36页 |
| ·精密运动平台设计方案的确定 | 第36-37页 |
| ·精密运动平台重要部件的设计 | 第37-54页 |
| ·驱动部分的设计 | 第37-49页 |
| ·工作台旋转部分结构的设计 | 第49-51页 |
| ·X-Y-θ调整部件的设计 | 第51-53页 |
| ·工作台板的设计 | 第53-54页 |
| ·精密运动平台结构的设计 | 第54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 4 精密运动平台关键部件的结构分析 | 第55-72页 |
| ·仪器精度理论 | 第55-56页 |
| ·驱动部件滚动导轨的分析 | 第56-66页 |
| ·滚动导轨精度及影响因素 | 第56-57页 |
| ·滚动导轨的位移分辩率分析原理 | 第57-58页 |
| ·驱动部分滚动导轨的静力学仿真 | 第58-62页 |
| ·驱动部分滚动导轨的模态分析 | 第62-66页 |
| ·驱动部分的有限元分析 | 第66-71页 |
| ·驱动部分的静力学分析 | 第66-69页 |
| ·驱动部分的模态分析 | 第69-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 5 精密运动平台实验研究 | 第72-82页 |
| ·精密运动平台实验系统的组成 | 第72-77页 |
| ·实验 | 第77-81页 |
| ·本章小结 | 第81-82页 |
| 6 结论与展望 | 第82-84页 |
| ·本文总结 | 第82-83页 |
| ·未来展望 | 第83-84页 |
| 参考文献 | 第84-89页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第89-90页 |
| 致谢 | 第90-91页 |
