摘要 | 第1-7页 |
Abstract | 第7-9页 |
第一章 绪论 | 第9-21页 |
第一节 PbTe 材料的基本性质 | 第9-12页 |
第二节 PbTe 材料的应用 | 第12-15页 |
第三节 PbTe 薄膜的制备方法及研究现状 | 第15-19页 |
第四节 论文选题依据及意义 | 第19-21页 |
第二章 实验设备和测试方法 | 第21-29页 |
第一节 实验设备 | 第21-23页 |
第二节 实验中所需要的主要材料和试剂 | 第23-24页 |
第三节 测试手段及工作原理 | 第24-29页 |
第三章 磁控溅射工艺参数对 PbTe 薄膜性能的影响 | 第29-39页 |
第一节 溅射功率对 PbTe 薄膜性能的影响 | 第29-32页 |
第二节 薄膜厚度对 PbTe 薄膜性能的影响 | 第32-34页 |
第三节 衬底温度对 PbTe 薄膜性能的影响 | 第34-37页 |
第四节 本章小结 | 第37-39页 |
第四章 Al 掺杂 PbTe 薄膜的制备及退火 | 第39-49页 |
第一节 Al/ PbTe 薄膜的制备及退火 | 第39-40页 |
第二节 退火时间对磁控溅射 Al/PbTe 薄膜的影响 | 第40-43页 |
第三节 退火温度对磁控溅射 Al/PbTe 薄膜的影响 | 第43-47页 |
第四节 本章小结 | 第47-49页 |
第五章 全文总结 | 第49-51页 |
第一节 本论文的主要研究内容及成果 | 第49-50页 |
第二节 今后工作的建议 | 第50-51页 |
参考文献 | 第51-57页 |
论文作者在学期间发表的学术论文目录 | 第57-59页 |
致谢 | 第59页 |