| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-21页 |
| ·气敏传感器的研究现状 | 第12-13页 |
| ·SnO_2 气敏传感器的研究现状及应用前景 | 第13页 |
| ·SnO_2 气敏传感器的气敏特性 | 第13-14页 |
| ·SnO_2 气敏传感器的工作原理 | 第14-17页 |
| ·SnO_2 气敏陶瓷的导电机理 | 第14-16页 |
| ·SnO_2 敏感体的表面过程 | 第16-17页 |
| ·贵金属掺杂与元件气敏性能的关系 | 第17-18页 |
| ·SnO_2 基气敏传感器存在的主要问题及研究方向 | 第18-19页 |
| ·本论文的研究内容和主要技术路线 | 第19-21页 |
| 第二章 Sb 掺杂的SnO_2薄膜的制备和气敏性能测试 | 第21-34页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第21-22页 |
| ·溶胶 | 第21页 |
| ·凝胶 | 第21-22页 |
| ·溶胶－凝胶法制备薄膜 | 第22页 |
| ·溶胶－凝胶体系的选用 | 第22-23页 |
| ·主要实研仪器及其功能 | 第23页 |
| ·试样的制备过程 | 第23-28页 |
| ·器件的结构设计及工艺流程 | 第23-26页 |
| ·制备SnO_2 气敏薄膜主要原料 | 第26-27页 |
| ·掺杂Sb 的锡溶胶的配制 | 第27页 |
| ·掺杂Sb 的SnO_2 薄膜的制备 | 第27-28页 |
| ·实验结果及分析 | 第28-33页 |
| ·气敏性能的测试原理及配气方法 | 第28-29页 |
| ·掺杂浓度对薄膜的气敏性能和电性能的影响 | 第29-33页 |
| ·小结 | 第33-34页 |
| 第三章 Ag 掺杂对Sb:SnO_2薄膜气敏性能的影响 | 第34-45页 |
| ·前言 | 第34页 |
| ·Ag 掺杂的Sb:SnO_2 气敏薄膜制备 | 第34-35页 |
| ·Ag 掺杂对薄膜气敏性能的影响 | 第35-39页 |
| ·Ag 的最佳添加量的探索 | 第39-41页 |
| ·热处理温度的影响 | 第41页 |
| ·器件的选择性 | 第41-43页 |
| ·小结 | 第43-45页 |
| 第四章 Pt 掺杂对Sb:SnO_2薄膜气敏性能的影响 | 第45-49页 |
| ·P t 掺杂试样的制备 | 第45-46页 |
| ·结果及讨论 | 第46页 |
| ·选择性的测试结果及分析 | 第46-47页 |
| ·薄膜的响应恢复特性 | 第47-48页 |
| ·小结 | 第48-49页 |
| 第五章 气敏元件的复阻抗测试及其机理分析 | 第49-58页 |
| ·前言 | 第49页 |
| ·复阻抗分析方法 | 第49-50页 |
| ·试样的复阻抗谱测试 | 第50-55页 |
| ·元件的自加热现象 | 第55-57页 |
| ·小结 | 第57-58页 |
| 第六章 主要结论及对后续工作的展望 | 第58-60页 |
| ·主要结论 | 第58-59页 |
| ·对后续工作的展望 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65页 |
