| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-21页 |
| ·研究背景及意义 | 第9-10页 |
| ·国内外研究与发展现状 | 第10-11页 |
| ·ZnO的结构特性 | 第11-13页 |
| ·ZnO薄膜的基本性质及应用 | 第13-15页 |
| ·ZnO薄膜的生长方法 | 第15-20页 |
| ·本论文主要工作 | 第20-21页 |
| 第2章 ZnO薄膜的溶胶-凝胶法制备机理及压敏机制 | 第21-32页 |
| ·溶胶-凝胶法概述及制膜机理 | 第21-23页 |
| ·溶胶-凝胶法的特点 | 第21-22页 |
| ·溶胶-凝胶法的制膜机理 | 第22-23页 |
| ·溶胶-凝胶法制备薄膜的方法 | 第23-25页 |
| ·旋转涂敷法 | 第23-24页 |
| ·浸涂法 | 第24页 |
| ·喷涂法 | 第24-25页 |
| ·ZnO薄膜的形成机理 | 第25-27页 |
| ·ZnO凝胶热分析 | 第25-26页 |
| ·薄膜制备过程的化学反应机理 | 第26页 |
| ·附着机理 | 第26-27页 |
| ·ZnO薄膜的压敏特性机理 | 第27-31页 |
| ·ZnO薄膜压敏特性微观结构 | 第27-28页 |
| ·ZnO薄膜压敏特性形成机理 | 第28-29页 |
| ·ZnO压敏电阻的电性能参数 | 第29-30页 |
| ·ZnO薄膜压敏特性掺杂物简介 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章 ZnO薄膜制备及压敏特性研究的方案设计 | 第32-44页 |
| ·ZnO薄膜的制备过程 | 第32-33页 |
| ·实验环节中应注意的问题 | 第33-35页 |
| ·实验设备及主要原料 | 第35-36页 |
| ·实验设备 | 第35页 |
| ·实验原料 | 第35-36页 |
| ·实验方案设计 | 第36-42页 |
| ·ZnO薄膜制备的方案设计 | 第36-39页 |
| ·ZnO压敏特性研究的方案设计 | 第39-42页 |
| ·ZnO薄膜的性能测试 | 第42-43页 |
| ·X射线衍射 | 第42页 |
| ·金相显微镜测试 | 第42页 |
| ·薄膜的形貌观测 | 第42页 |
| ·薄膜的厚度测试 | 第42-43页 |
| ·薄膜的压敏参数测试 | 第43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 实验结果与分析 | 第44-65页 |
| ·ZnO纯膜结构特征分析 | 第44-52页 |
| ·X射线衍射结果分析 | 第44-46页 |
| ·影响因素分析 | 第46-51页 |
| ·ZnO薄膜的形貌表征 | 第51-52页 |
| ·ZnO薄膜的厚度 | 第52页 |
| ·ZnO压敏薄膜结构特征分析及压敏特性研究 | 第52-64页 |
| ·退火温度对ZnO薄膜压敏特性的影响 | 第52-55页 |
| ·不同掺杂配方对ZnO薄膜压敏特性的影响 | 第55-60页 |
| ·掺AL对ZnO薄膜压敏特性的影响 | 第60-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第5章 结论 | 第65-67页 |
| ·工作总结 | 第65页 |
| ·工作中遇到的问题 | 第65-67页 |
| 附录Ⅰ | 第67-68页 |
| 附录Ⅱ | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73页 |