探空温湿压集成传感器的研究
| 第一章 绪论 | 第1-20页 |
| 1．1 探空集成传感器介绍 | 第10-13页 |
| 1．1．1 高空气象参数探测的意义 | 第10-11页 |
| 1．1．2 微型集成探空传感器研究意义 | 第11-12页 |
| 1．1．3 MEMS技术介绍 | 第12-13页 |
| 1．2 研究现状简介 | 第13-18页 |
| 1．2．1 温度传感器 | 第13-14页 |
| 1．2．2 湿度传感器 | 第14-16页 |
| 1．2．3 气压传感器 | 第16-17页 |
| 1．2．4 集成传感器 | 第17-18页 |
| 参考文献 | 第18-20页 |
| 第二章 基于氮化硅的温湿压集成传感器 | 第20-46页 |
| 2．1 集成传感器设计技术指标 | 第20页 |
| 2．2 基于氮化硅的温湿压集成传感器设计一 | 第20-36页 |
| 2．2．1 基于氮化硅的温湿压集成传感器测量方式 | 第20页 |
| 2．2．2 基于氮化硅的温湿压集成传感器结构 | 第20-22页 |
| 2．2．3 测量原理和模拟计算 | 第22-27页 |
| 2．2．3．1 气压传感器测量原理与模拟计算 | 第22-24页 |
| 2．2．3．2 湿度传感器测量原理与模拟计算 | 第24-27页 |
| 2．2．3．3 温度传感器原理 | 第27页 |
| 2．2．4 设计一的传感器工艺 | 第27-36页 |
| 2．2．4．1 工艺步骤 | 第27-28页 |
| 2．2．4．2 工艺参数 | 第28-35页 |
| 2．2．4．3 工艺分析和改进 | 第35-36页 |
| 2．3 基于氮化硅的温湿压集成传感器设计二 | 第36-41页 |
| 2．3．1 传感器结构 | 第36-37页 |
| 2．3．2 传感器工艺 | 第37-41页 |
| 2．4 氮化硅薄膜应变式气压传感器 | 第41-44页 |
| 2．4．1 传感器原理 | 第41-42页 |
| 2．4．2 传感器结构 | 第42-43页 |
| 2．4．3 传感器工艺 | 第43-44页 |
| 2．5 小结 | 第44页 |
| 参考文献 | 第44-46页 |
| 第三章 基于聚酰亚胺的温湿压集成传感器 | 第46-57页 |
| 3．1 聚酰亚胺材料 | 第46-47页 |
| 3．1．1 ZKPI型聚酰亚胺及其应用 | 第46-47页 |
| 3．2 基于聚酰亚胺的温湿度集成传感器 | 第47-51页 |
| 3．2．1 基于聚酰亚胺的温湿度传感器原理 | 第47-48页 |
| 3．2．2 基于聚酰亚胺温湿度集成传感器结构 | 第48页 |
| 3．2．3 基于聚酰亚胺温湿度集成传感器工艺流程 | 第48-49页 |
| 3．2．4 聚酰亚胺薄膜加工 | 第49-50页 |
| 3．2．5 工艺分析 | 第50-51页 |
| 3．3 基于聚酰亚胺的气压传感器 | 第51-53页 |
| 3．3．1 基于聚酰亚胺的气压传感器结构 | 第51-52页 |
| 3．3．2 基于聚酰亚胺的气压传感器工艺流程 | 第52-53页 |
| 3．3．3 基于聚酰亚胺的气压传感器工艺分析 | 第53页 |
| 3．4 基于聚酰亚胺的温湿压集成传感器设计 | 第53-55页 |
| 3．5 小结 | 第55页 |
| 参考文献 | 第55-57页 |
| 第四章 传感器测试 | 第57-69页 |
| 4．1 基于氮化硅的温湿压集成传感器测试 | 第57-63页 |
| 4．1．1 温度传感器测试 | 第57页 |
| 4．1．2 湿度传感器测试 | 第57-61页 |
| 4．1．2．1 测试装置 | 第57-58页 |
| 4．1．2．2 测试结果及分析 | 第58-61页 |
| 4．1．3 气压传感器测试 | 第61-63页 |
| 4．2 基于聚酰亚胺的温湿压传感器芯片测试 | 第63-66页 |
| 4．2．1 温度传感器测试 | 第63页 |
| 4．2．2 湿度传感器测试及分析 | 第63-66页 |
| 4．3 总结 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-69页 |
| 第五章 结论 | 第69-71页 |
| 5．1 研究成果小结 | 第69-70页 |
| 5．2 创新点 | 第70页 |
| 5．3 下一步工作 | 第70页 |
| 5．4 展望 | 第70-71页 |
| 发表论文及成果清单 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72页 |
