| 中文摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-9页 |
| 图表索引 | 第9-11页 |
| 第一章 绪 论 | 第11-25页 |
| 1．1 引言 | 第11-12页 |
| 1．2 红外傅里叶变换光谱技术的发展 | 第12-14页 |
| 1．3 短波段傅里叶交换光谱仪的特点 | 第14-16页 |
| 1．4 傅里叶交换光谱技术向短波段拓展的主要技术难点 | 第16-17页 |
| 1．4．1 分束器 | 第16页 |
| 1．4．2 高精度动镜系统 | 第16-17页 |
| 1．4．3 光学元件面形精度与镀膜 | 第17页 |
| 1．4．4 对计算机处理能力 | 第17页 |
| 1．5 短波段傅里叶变换光谱仪研究现状 | 第17-21页 |
| 1．6 短波段傅里叶变换光谱仪的应用 | 第21-23页 |
| 1．7 本论文的主要研究内容 | 第23-25页 |
| 第二章 傅里叶变换光谱理论 | 第25-34页 |
| 2．1 基本原理 | 第25-26页 |
| 2．2 光谱分辨率及谱线位移 | 第26-32页 |
| 2．3 多重传输特性的讨论 | 第32-33页 |
| 2．4 本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 紫外-真空紫外傅里叶变换光谱仪 | 第34-66页 |
| 3．1 紫外-真空紫外傅里叶变换光谱仪光学系统 | 第34-40页 |
| 3．1．1 光学系统结构 | 第34-38页 |
| 3．1．2 参考激光干涉仪 | 第38-40页 |
| 3．2 光学元件镀膜 | 第40-49页 |
| 3．2．1 紫外—真空紫外波段高反膜 | 第40-41页 |
| 3．2．2 紫外—真空紫外波段分束膜 | 第41-49页 |
| 3．2．2．1 理论分析与模拟设计 | 第41-46页 |
| 3．2．2．2 实验及结果分析 | 第46-49页 |
| 3．2．2．2．1 Al＋MgF_2样品制备 | 第46-47页 |
| 3．2．2．2．2 样品光谱特性测量装置 | 第47-48页 |
| 3．2．2．2．3 结果分析 | 第48-49页 |
| 3．3 电子学信号采集与处理 | 第49-59页 |
| 3．3．1 电子学系统 | 第49-50页 |
| 3．3．2 锁相环倍频单元 | 第50-51页 |
| 3．3．3 带通滤波器单元 | 第51-57页 |
| 3．3．3．1 干涉图信号频宽 | 第52页 |
| 3．3．3．2 带通滤波器设计及实验 | 第52-57页 |
| 3．3．4 A/D卡的选取及采集软件 | 第57-58页 |
| 3．3．5 电子学模拟实验及结果 | 第58-59页 |
| 3．4 电控精密气动液压系统 | 第59-64页 |
| 3．4．1 电控气动液压系统及性能 | 第59-61页 |
| 3．4．2 猫眼动镜平移速率测量 | 第61-62页 |
| 3．4．3 ZYGO干涉仪光源光谱测量实验 | 第62-64页 |
| 3．5 本章小结 | 第64-66页 |
| 第四章 干涉图数据处理及紫外波段傅里叶变换光谱测量 | 第66-76页 |
| 4．1 干涉图数据处理 | 第66-69页 |
| 4．1．1 干涉图数据整理 | 第66-67页 |
| 4．1．2 切趾 | 第67页 |
| 4．1．3 相位校正和光谱变换 | 第67-69页 |
| 4．2 汞灯紫外傅里叶交换光谱测量 | 第69-75页 |
| 4．3 本章小结 | 第75-76页 |
| 第五章 软Ｘ射线傅里叶变换光谱技术初探 | 第76-86页 |
| 5．1 引 言 | 第76-77页 |
| 5．2 软Ｘ射线傅里叶变换光谱仪设计结构 | 第77-78页 |
| 5．3 原理及特性分析 | 第78-84页 |
| 5．3．1 工作原理 | 第78-82页 |
| 5．3．2 探测器前置狭缝宽度 | 第82-83页 |
| 5．3．3 光程差反演公式 | 第83-84页 |
| 5．4 关键技术环节 | 第84-85页 |
| 5．5 本章小结 | 第85-86页 |
| 第六章 总结与展望 | 第86-89页 |
| 参考文献 | 第89-96页 |
| 致谢 | 第96-97页 |
| 作者简历 | 第97-98页 |
| 攻读博士学位期间作者发表的论文 | 第98页 |