基于介观压阻效应的GaAs基微机械陀螺的仿真与设计
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| ·引言 | 第9页 |
| ·微机械陀螺概述 | 第9-13页 |
| ·微机械陀螺的分类 | 第10-11页 |
| ·典型的微机械陀螺 | 第11-13页 |
| ·微机械陀螺检测方式 | 第13-16页 |
| ·电容检测方式 | 第13-14页 |
| ·压电检测方式 | 第14-15页 |
| ·压阻检测方式 | 第15页 |
| ·隧道检测方式 | 第15-16页 |
| ·介观压阻效应的研究现状 | 第16-18页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第18-19页 |
| 第二章 GaAs 基微机械陀螺设计 | 第19-34页 |
| ·振动式微机械陀螺的原理 | 第19-22页 |
| ·哥氏加速度与哥氏力 | 第19-20页 |
| ·振动式微机械陀螺的工作原理 | 第20-22页 |
| ·GaAs 基微机械陀螺的结构方案 | 第22-28页 |
| ·GaAs 基微机械陀螺的整体结构方案确定 | 第22-24页 |
| ·GaAs 基微机械陀螺驱动方式的确定 | 第24-25页 |
| ·GaAs 基微机械陀螺敏感元件的确定 | 第25-27页 |
| ·共振隧穿薄膜的设计 | 第27-28页 |
| ·GaAs 基微机械陀螺关键工艺探索 | 第28-30页 |
| ·GaAs 基微机械陀螺的结构 | 第30-31页 |
| ·GaAs 基微机械陀螺的动力学特性 | 第31-34页 |
| 第三章 微陀螺的动力学仿真 | 第34-46页 |
| ·微陀螺驱动振动求解 | 第34-41页 |
| ·驱动振动模态力求解 | 第36-39页 |
| ·驱动模态阻尼 | 第39-40页 |
| ·驱动振动求解 | 第40-41页 |
| ·微陀螺检测振动求解 | 第41-46页 |
| ·检测振动模态力求解 | 第43页 |
| ·检测模态阻尼 | 第43-44页 |
| ·检测振动求解 | 第44-45页 |
| ·微梁上应变的求解 | 第45-46页 |
| 第四章 微陀螺介观压阻效应的模拟 | 第46-56页 |
| ·半导体超晶格 | 第46-47页 |
| ·介观压阻效应 | 第47-50页 |
| ·外应力下量子阱的应变关系 | 第50-51页 |
| ·微陀螺介观压阻效应的计算机模拟 | 第51-56页 |
| 第五章 微陀螺的性能仿真及其分析 | 第56-61页 |
| ·微陀螺的特性仿真 | 第56-57页 |
| ·影响微机械陀螺特性的参数 | 第57-61页 |
| ·驱动电压频率对微陀螺的影响 | 第58-59页 |
| ·温度对微陀螺的影响 | 第59-61页 |
| 第六章 结论和展望 | 第61-63页 |
| ·结论 | 第61-62页 |
| ·展望 | 第62-63页 |
| 附录 | 第63-66页 |
| 参考文献 | 第66-71页 |
| 攻读博士或硕士学位期间所取得的研究成果 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72页 |
