三框架硅微机械陀螺的结构设计及加工工艺研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-23页 |
| ·陀螺简介 | 第9-11页 |
| ·机械转子陀螺和光学陀螺 | 第9-10页 |
| ·微机械陀螺仪 | 第10-11页 |
| ·硅微机械陀螺的发展现状及趋势 | 第11-20页 |
| ·国内微机械陀螺仪发展 | 第11-15页 |
| ·国外微机械陀螺仪发展 | 第15-19页 |
| ·微机械陀螺发展趋势 | 第19-20页 |
| ·论文研究的意义 | 第20-21页 |
| ·论文工作内容 | 第21-23页 |
| 第二章 硅微机械陀螺结构设计 | 第23-36页 |
| ·微机械陀螺仪设计原理 | 第23-26页 |
| ·哥氏效应 | 第23-25页 |
| ·微机械陀螺工作原理 | 第25-26页 |
| ·陀螺结构设计基础 | 第26-34页 |
| ·双框架微机械陀螺缺点 | 第26-28页 |
| ·陀螺阻尼分析 | 第28-29页 |
| ·陀螺驱动和检测方式 | 第29-33页 |
| ·陀螺支撑梁 | 第33-34页 |
| ·三质量块陀螺解耦仿真分析 | 第34-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 三框架陀螺结构设计、分析及仿真 | 第36-53页 |
| ·三框架陀螺结构及工作原理 | 第36-39页 |
| ·三框架陀螺结构 | 第37-38页 |
| ·三框架陀螺工作原理 | 第38-39页 |
| ·三框架陀螺动力学分析 | 第39-43页 |
| ·三框架陀螺有限元仿真 | 第43-48页 |
| ·静态分析 | 第44页 |
| ·模态分析 | 第44-46页 |
| ·谐响应分析 | 第46-48页 |
| ·三框架陀螺参数 | 第48-52页 |
| ·陀螺结构参数 | 第48-50页 |
| ·陀螺性能参数 | 第50-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第四章 硅微机械陀螺工艺及版图设计 | 第53-65页 |
| ·微机械加工工艺 | 第53-56页 |
| ·体硅加工工艺 | 第53-54页 |
| ·三框架陀螺工艺设计 | 第54-56页 |
| ·硅微机械陀螺版图设计 | 第56-63页 |
| ·版图设计规则 | 第56-59页 |
| ·版图设计中的注意事项 | 第59页 |
| ·三框架陀螺版图设计 | 第59-62页 |
| ·版图设计中关键点及存在的问题 | 第62-63页 |
| ·三框架陀螺加工结果 | 第63-64页 |
| ·微机械陀螺封装 | 第64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第五章 硅微机械陀螺接口电路 | 第65-78页 |
| ·微机械陀螺接口电路原理 | 第65-66页 |
| ·微机械陀螺驱动电路 | 第66-72页 |
| ·开环驱动电路 | 第66-67页 |
| ·无自动增益控制闭环驱动电路 | 第67-69页 |
| ·自动增益控制闭环驱动电路 | 第69-71页 |
| ·两种驱动方式的比较 | 第71-72页 |
| ·微机械陀螺检测电路 | 第72-77页 |
| ·差分检测电路 | 第72-74页 |
| ·检测模态的测量 | 第74页 |
| ·信号解调电路 | 第74-77页 |
| ·本章小结 | 第77-78页 |
| 第六章 硅微机械陀螺电路测试 | 第78-83页 |
| ·开环驱动测试 | 第78-80页 |
| ·驱动信号 | 第78-79页 |
| ·驱动模态固有频率 | 第79-80页 |
| ·检测模态固有频率测试 | 第80页 |
| ·闭环驱动测试 | 第80-82页 |
| ·驱动信号 | 第80-81页 |
| ·自动增益控制信号 | 第81-82页 |
| ·转台测试 | 第82-83页 |
| 第七章 结论与展望 | 第83-85页 |
| ·论文的主要研究内容及结论 | 第83页 |
| ·论文的创新及特色 | 第83-84页 |
| ·论文工作展望 | 第84-85页 |
| 附录 | 第85-87页 |
| 参考文献 | 第87-91页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及所取得的研究成果 | 第91-92页 |
| 致谢 | 第92页 |
