| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-19页 |
| ·光纤传感器技术概述 | 第9-11页 |
| ·光纤Fabry-Perot传感器 | 第11页 |
| ·非本征光纤Fabry-Perot传感器的研究和应用现状 | 第11-13页 |
| ·微型光纤EFPI压力传感器 | 第13-17页 |
| ·微型EFPI压力传感器的应用背景 | 第14-16页 |
| ·微型EFPI压力传感器的制作技术 | 第16-17页 |
| ·论文的研究目的和意义 | 第17页 |
| ·论文的结构 | 第17-18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 2 膜片式非本征法布里-珀罗光纤传感器的工作原理 | 第19-35页 |
| ·Fabry-Perot光纤传感器的干涉原理 | 第19-22页 |
| ·光纤F-P传感器的基本结构 | 第22-27页 |
| ·光纤IFPI传感器 | 第23-24页 |
| ·光纤EFPI传感器 | 第24-27页 |
| ·线型复合腔F-P传感器 | 第27页 |
| ·光纤F-P压力传感器的解调 | 第27-31页 |
| ·强度解调方法 | 第28-29页 |
| ·相位解调方法 | 第29-31页 |
| ·干涉条纹计数法 | 第29-30页 |
| ·傅立叶变换解调方法 | 第30页 |
| ·离散腔长变换(相关)解调 | 第30-31页 |
| ·微型膜片式光纤F-P压力传感器的压力敏感原理 | 第31-34页 |
| ·微型膜片式光纤Fabry-Perot传感器的结构 | 第31-32页 |
| ·微型膜片式光纤Fabry-Perot传感器的压力传感 | 第32-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 3 微型膜片式光纤EFPI压力传感器的制作工艺研究 | 第35-48页 |
| ·石英膜片式传感头的制作工艺 | 第35-43页 |
| ·参数的设计 | 第35-38页 |
| ·灵敏度 | 第35-36页 |
| ·频率的影响 | 第36-38页 |
| ·F-P腔的制作 | 第38-40页 |
| ·石英膜片的制作 | 第40-43页 |
| ·石英丝的切割 | 第40-41页 |
| ·石英膜片的氢氟酸腐蚀法 | 第41-43页 |
| ·基于有机膜片的传感头的制作 | 第43-47页 |
| ·聚合物光子材料PSQ简介 | 第44页 |
| ·有机膜片的制作 | 第44-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 4 实验结果与分析 | 第48-58页 |
| ·光纤压力传感器系统工作原理 | 第48-49页 |
| ·压力标定实验 | 第49-52页 |
| ·压力定标实验系统的介绍 | 第49-50页 |
| ·石英膜片式传感器的压力定标实验 | 第50-51页 |
| ·基于有机膜片的EFPI光纤压力传感器的压力标定实验 | 第51-52页 |
| ·传感器的检测分辨率测试 | 第52-54页 |
| ·全石英结构的EFPI光纤压力传感器的检测分辨率 | 第52-53页 |
| ·有机膜片式压力传感器的分辨率测试 | 第53-54页 |
| ·温度交叉敏感测量实验 | 第54-57页 |
| ·温度交叉敏感实验系统简介 | 第54-55页 |
| ·全石英EFPI传感器的温度交叉敏感测量 | 第55-56页 |
| ·有机膜片式EFPI传感器的温度交叉敏感测量 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 结论 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
