基于微焦准直的微深内腔尺度超精密测量方法研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-33页 |
| ·课题背景及研究的目的和意义 | 第13-15页 |
| ·微深内腔尺度测量及其相关理论的发展概况 | 第15-29页 |
| ·微尺寸测量的特点 | 第15-17页 |
| ·微深内腔尺度测量对探针传感器的设计要求 | 第17页 |
| ·微深内腔测量技术研究现状 | 第17-29页 |
| ·本领域存在的科学问题和关键技术问题 | 第29-32页 |
| ·课题研究主要内容 | 第32-33页 |
| 第2章 基于微焦准直的微位移传感机理研究 | 第33-56页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·理想条件下基于点光源准直光路的位移传感机理 | 第33-41页 |
| ·准直透镜横向离焦位移传感 | 第35-36页 |
| ·准直透镜纵向离焦位移传感 | 第36-38页 |
| ·准直透镜的三维位移传感特性分析 | 第38-41页 |
| ·点光源准直成像光路位移传感原理的应用 | 第41页 |
| ·基于微焦准直原理的光纤探针测杆位移传感方法 | 第41-55页 |
| ·光纤探针测杆横向离焦位移传感 | 第43-48页 |
| ·光纤探针测杆纵向离焦位移传感 | 第48-51页 |
| ·横向离焦与纵向离焦的相关性分析 | 第51-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第3章 基于微焦准直的微深内腔传感器设计 | 第56-76页 |
| ·引言 | 第56-57页 |
| ·点光源获取单元设计 | 第57-61页 |
| ·折射法获取点光源 | 第57-60页 |
| ·反射法获取点光源 | 第60页 |
| ·针孔光阑法获取点光源 | 第60-61页 |
| ·点光源微焦准直成像单元设计 | 第61-73页 |
| ·光纤探针的制作及其位移传递特性分析 | 第61-70页 |
| ·相机参数对传感特性的影响 | 第70-73页 |
| ·微深内腔传感器初级位移放大倍率分析及装置组成 | 第73-75页 |
| ·微深内腔传感器的初级位移放大倍率分析 | 第73-74页 |
| ·微深内腔传感器结构组成及装置 | 第74-75页 |
| ·本章小结 | 第75-76页 |
| 第4章 微孔直径测量的不确定度分析 | 第76-99页 |
| ·引言 | 第76页 |
| ·微孔直径的测量方法 | 第76-80页 |
| ·触点位置测量方法及不确定度分析 | 第80-85页 |
| ·测量数据采集的同步性分析 | 第81-83页 |
| ·最小二乘直线拟合法获取触点位置 | 第83-85页 |
| ·光纤探针测头工作直径的标定方法及不确定度分析 | 第85-92页 |
| ·寻拐点方法及不确定度分析 | 第92-94页 |
| ·微孔工件姿态校正方法及不确定度分析 | 第94-96页 |
| ·寻拐点法微孔直径测量结果的不确定度合成 | 第96-98页 |
| ·本章小结 | 第98-99页 |
| 第5章 实验与测量结果分析 | 第99-114页 |
| ·引言 | 第99页 |
| ·基于微焦准直的光纤测杆位移传感实验 | 第99-107页 |
| ·实验装置组成 | 第99-101页 |
| ·微焦准直光路的静态稳定性测试 | 第101-103页 |
| ·横向离焦位移分辨力测试 | 第103-105页 |
| ·纵向离焦位移分辨力测试 | 第105-106页 |
| ·实验结论 | 第106-107页 |
| ·基于微焦准直的微深内腔传感器瞄准重复性测试 | 第107-110页 |
| ·微孔直径测量实验 | 第110-113页 |
| ·光纤探针测头工作直径标定实验 | 第110-111页 |
| ·微孔直径测量实验 | 第111-113页 |
| ·本章小结 | 第113-114页 |
| 结论 | 第114-116页 |
| 参考文献 | 第116-124页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及其它成果 | 第124-126页 |
| 致谢 | 第126-127页 |
| 个人简历 | 第127页 |
