| 致谢 | 第5-7页 |
| 摘要 | 第7-9页 |
| Abstract | 第9-10页 |
| 缩写、符号清单、术语表 | 第17-19页 |
| 1 绪论与综述 | 第19-37页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第19-20页 |
| 1.2 经济模型预测控制与间歇过程优化控制研究现状 | 第20-32页 |
| 1.2.1 模型预测控制研究现状 | 第21-23页 |
| 1.2.2 经济模型预测控制研究现状 | 第23-28页 |
| 1.2.3 间歇过程优化控制研究现状 | 第28-32页 |
| 1.3 论文研究解决的问题 | 第32-33页 |
| 1.4 论文研究内容与结构 | 第33-37页 |
| 2 基于干扰选择反馈控制的间歇过程经济集成鲁棒设计 | 第37-59页 |
| 2.1 引言 | 第37-38页 |
| 2.2 过程模型与经济目标 | 第38-41页 |
| 2.3 基于传统反馈控制的经济集成鲁棒设计 | 第41-45页 |
| 2.4 基于干扰选择反馈控制的经济集成鲁棒设计 | 第45-52页 |
| 2.4.1 基于干扰的反馈控制策略 | 第45-47页 |
| 2.4.2 选择反馈控制策略 | 第47-50页 |
| 2.4.3 经济集成鲁棒设计 | 第50-52页 |
| 2.5 仿真结果 | 第52-58页 |
| 2.5.1 基于一组对称干扰的仿真实例 | 第54-55页 |
| 2.5.2 基于随机生成干扰的仿真实例 | 第55-58页 |
| 2.6 本章小结 | 第58-59页 |
| 3 基于迭代学习控制(ILC)的间歇过程经济模型预测控制 | 第59-91页 |
| 3.1 引言 | 第59-61页 |
| 3.2 过程模型与优化策略 | 第61-66页 |
| 3.3 批次间基于ILC的经济模型预测控制 | 第66-72页 |
| 3.4 批次内基于ILC的经济模型预测控制 | 第72-76页 |
| 3.5 仿真结果 | 第76-88页 |
| 3.5.1 批次间干扰变化:重复性干扰仿真实例 | 第79-86页 |
| 3.5.2 批次内干扰变化:非重复性干扰仿真实例 | 第86-88页 |
| 3.6 本章小结 | 第88-91页 |
| 4 基于平均经济性能非固定终端时间的间歇过程经济模型预测控制 | 第91-113页 |
| 4.1 引言 | 第91-92页 |
| 4.2 过程模型与控制方法 | 第92-95页 |
| 4.3 间歇过程的经济MPC | 第95-101页 |
| 4.3.1 非固定终端时间优化 | 第96-98页 |
| 4.3.2 平均经济性能优化 | 第98-99页 |
| 4.3.3 提前终止机制 | 第99-101页 |
| 4.4 终端时间有界性以及终端约束可达性 | 第101-105页 |
| 4.4.1 终端时间有界性 | 第101-103页 |
| 4.4.2 终端约束可达性 | 第103-105页 |
| 4.5 仿真结果 | 第105-112页 |
| 4.5.1 无干扰过程仿真实例 | 第107-109页 |
| 4.5.2 市场波动干扰仿真实例 | 第109-112页 |
| 4.5.3 提前终止仿真实例 | 第112页 |
| 4.6 本章小结 | 第112-113页 |
| 5 基于衰退PLS模型的经济Run-to-Run控制在半导体过程的应用 | 第113-135页 |
| 5.1 引言 | 第113-115页 |
| 5.2 过程模型与标准PLS | 第115-117页 |
| 5.3 基于衰退的PLS建模方法 | 第117-121页 |
| 5.4 经济Run-to-Run控制 | 第121-124页 |
| 5.5 仿真结果 | 第124-132页 |
| 5.5.1 模型预测能力仿真实例 | 第125-126页 |
| 5.5.2 模型控制能力仿真实例 | 第126-130页 |
| 5.5.3 经济Run-to-Run控制仿真实例 | 第130-132页 |
| 5.6 本章小结 | 第132-135页 |
| 6 总结与展望 | 第135-139页 |
| 6.1 工作总结 | 第135-137页 |
| 6.2 研究展望 | 第137-139页 |
| 参考文献 | 第139-149页 |
| 攻读博士期间科研成果 | 第149-151页 |
| 作者简介 | 第151页 |
