铌酸锂薄膜多层结构中声波性能研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-13页 |
| 1.1 铌酸锂研究现状 | 第9-10页 |
| 1.2 声波器件研究现状 | 第10-12页 |
| 1.2.1 声表面波器件 | 第10-11页 |
| 1.2.2 体声波谐振器 | 第11-12页 |
| 1.3 本文研究内容 | 第12-13页 |
| 2 压电薄膜材料基础与铌酸锂薄膜的制备 | 第13-22页 |
| 2.1 压电性基础 | 第13-15页 |
| 2.1.1 压电效应与逆压电效应 | 第13-14页 |
| 2.1.2 压电方程 | 第14-15页 |
| 2.2 压电薄膜材料 | 第15-18页 |
| 2.2.1 氧化锌薄膜 | 第15-16页 |
| 2.2.2 氮化铝薄膜 | 第16-17页 |
| 2.2.3 铌酸锂单晶薄膜 | 第17-18页 |
| 2.3 基于铌酸锂薄膜多层结构的制备 | 第18-21页 |
| 2.3.1 晶体离子切片 | 第19页 |
| 2.3.2 全晶圆片的制备 | 第19-21页 |
| 2.4 本章小结 | 第21-22页 |
| 3 声表面波器件理论与设计参数研究 | 第22-37页 |
| 3.1 SAW传播特性 | 第22-24页 |
| 3.2 SAW器件与工作原理 | 第24-26页 |
| 3.2.1 SAW器件基本原理 | 第24-25页 |
| 3.2.2 压电多层结构SAW器件 | 第25-26页 |
| 3.3 SAW器件有限元仿真 | 第26-31页 |
| 3.3.1 建模与仿真过程 | 第26-29页 |
| 3.3.2 仿真结果分析 | 第29-31页 |
| 3.4 IDT结构设计参数分析 | 第31-36页 |
| 3.4.1 IDT基本理论 | 第31-32页 |
| 3.4.2 IDT参数变化对器件的影响 | 第32-36页 |
| 3.5 本章小结 | 第36-37页 |
| 4 气体传感器的有限元仿真 | 第37-45页 |
| 4.1 声表面波气体传感器 | 第37-39页 |
| 4.1.1 研究背景 | 第37-38页 |
| 4.1.2 工作原理 | 第38-39页 |
| 4.2 气体传感器的仿真过程 | 第39-42页 |
| 4.2.1 模型建立 | 第39-40页 |
| 4.2.2 参数化设置 | 第40-42页 |
| 4.3 仿真结果分析 | 第42-44页 |
| 4.4 本章小结 | 第44-45页 |
| 5 体声波谐振器的仿真与测试 | 第45-58页 |
| 5.1 BAW谐振器原理与研究背景 | 第45-46页 |
| 5.2 BAW谐振器有限元仿真 | 第46-49页 |
| 5.3 电极层对BAW器件的影响 | 第49-53页 |
| 5.3.1 电极材料及厚度的影响 | 第49-52页 |
| 5.3.2 电极有效面积的影响 | 第52-53页 |
| 5.4 BAW器件的制作与检测 | 第53-57页 |
| 5.4.1 顶电极的制备 | 第53-54页 |
| 5.4.2 测试器件的制备 | 第54-56页 |
| 5.4.3 器件的检测 | 第56-57页 |
| 5.5 本章小结 | 第57-58页 |
| 6 总结 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 在学研究成果 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64页 |
