| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 单片智能功率芯片及其工艺 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-15页 |
| 1.2.1 国内外LIGBT电流能力研究现状 | 第11-12页 |
| 1.2.2 国内外LIGBT关断时间研究现状 | 第12-13页 |
| 1.2.3 国内外LIGBT短路能力研究现状 | 第13-15页 |
| 1.2.4 SOI-LIGBT发展趋势及难点 | 第15页 |
| 1.3 研究内容和设计指标 | 第15-17页 |
| 1.3.1 研究内容 | 第15-16页 |
| 1.3.2 设计指标 | 第16-17页 |
| 1.4 论文组织结构 | 第17-19页 |
| 第二章 SOI-LIGBT器件设计理论 | 第19-33页 |
| 2.1 SOI-LIGBT基本特性介绍 | 第19-21页 |
| 2.1.1 SOI-LIGBT的基本结构 | 第19页 |
| 2.1.2 SOI-LIGBT的工作原理 | 第19-21页 |
| 2.2 静态参数设计原理 | 第21-24页 |
| 2.2.1 器件耐压设计原理 | 第21-23页 |
| 2.2.2 阈值电压设计原理 | 第23页 |
| 2.2.3 电流密度提升原理 | 第23-24页 |
| 2.3 闩锁特性设计原理 | 第24-25页 |
| 2.4 关断特性设计原理 | 第25-28页 |
| 2.4.1 关断曲线 | 第26-27页 |
| 2.4.2 关断时耗尽区和载流子变化 | 第27-28页 |
| 2.5 短路电流设计原理 | 第28-31页 |
| 2.5.1 短路失效类型 | 第29-30页 |
| 2.5.2 短路特性优化方向 | 第30-31页 |
| 2.6 本章小结 | 第31-33页 |
| 第三章 新型沟槽栅U型沟道SOI-LIGBT器件关断及短路特性优化设计 | 第33-55页 |
| 3.1 传统平面栅U型沟道SOI-LIGBT的器件工作原理与缺点 | 第33-40页 |
| 3.1.1 器件工作原理 | 第33-34页 |
| 3.1.2 关断特性 | 第34-36页 |
| 3.1.3 短路特性 | 第36-40页 |
| 3.2 新型沟槽栅U型沟道SOI-LIGBT器件工作原理和静态参数 | 第40-47页 |
| 3.2.1 器件工作原理 | 第40-42页 |
| 3.2.2 静态参数 | 第42-47页 |
| 3.3 新型沟槽栅U型沟道SOI-LIGBT器件的关断特性分析 | 第47-50页 |
| 3.3.1 关断特性的模拟仿真 | 第47-48页 |
| 3.3.2 关断前载流子分布情况 | 第48页 |
| 3.3.3 关断初期的耗尽层展宽 | 第48-49页 |
| 3.3.4 关断中期的载流子分布 | 第49-50页 |
| 3.3.5 关断末期的载流子复合 | 第50页 |
| 3.4 新型沟槽栅U型沟道SOI-LIGBT器件的短路特性分析 | 第50-54页 |
| 3.4.1 短路特性的模拟仿真 | 第50-51页 |
| 3.4.2 短路失效分析 | 第51-54页 |
| 3.5 本章小结 | 第54-55页 |
| 第四章 新型沟槽栅U型沟道SOI-LIGBT器件的流片与测试 | 第55-65页 |
| 4.1 工艺流程 | 第55-58页 |
| 4.2 版图设计 | 第58-59页 |
| 4.3 测试结果 | 第59-63页 |
| 4.3.1 阈值电压测试 | 第59-60页 |
| 4.3.2 击穿电压测试 | 第60页 |
| 4.3.3 电流能力测试 | 第60-61页 |
| 4.3.4 闩锁电压测试 | 第61页 |
| 4.3.5 关断时间测试 | 第61-62页 |
| 4.3.6 短路电流测试 | 第62-63页 |
| 4.4 本章小结 | 第63-65页 |
| 第五章 总结和展望 | 第65-67页 |
| 5.1 总结 | 第65-66页 |
| 5.2 展望 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 攻读硕士学位期间的成果和发表的论文 | 第73-74页 |
