投射式电容触控传感器在新产品研发阶段的质量改善研究
| 中文摘要 | 第4-5页 |
| 英文摘要 | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第11-25页 |
| 1.1 投射式电容触控传感器简介 | 第11-15页 |
| 1.2 投射式电容触控传感器现状 | 第15-16页 |
| 1.3 触控传感器的发展趋势 | 第16-19页 |
| 1.3.1 趋势一:基体由薄膜式取代玻璃式 | 第16页 |
| 1.3.2 趋势二:使用新型导电材料 | 第16-19页 |
| 1.3.3 趋势三:保护层由塑料替代玻璃 | 第19页 |
| 1.4 触控传感器的制备工艺 | 第19-21页 |
| 1.5 选题背景及意义 | 第21-25页 |
| 1.5.1 选题背景 | 第21-22页 |
| 1.5.2 研究内容 | 第22-23页 |
| 1.5.3 研究意义 | 第23-25页 |
| 第二章 触控传感器的制程质量分析及改善 | 第25-75页 |
| 2.1 制程质量分析 | 第25-34页 |
| 2.1.1 各制程良率分析 | 第25-28页 |
| 2.1.2 大气压膜制程 | 第28-30页 |
| 2.1.3 曝光制程 | 第30-31页 |
| 2.1.4 显影制程 | 第31-32页 |
| 2.1.5 蚀刻剥膜制程 | 第32页 |
| 2.1.6 制程良率的改善目标 | 第32-34页 |
| 2.2 制程质量改善 | 第34-66页 |
| 2.2.1 大气压膜制程的质量改善 | 第34-41页 |
| 2.2.2 曝光制程的质量改善 | 第41-53页 |
| 2.2.3 显影制程的质量改善 | 第53-56页 |
| 2.2.4 蚀刻剥膜制程的质量改善 | 第56-62页 |
| 2.2.5 剥膜液浓度异常的解决案例 | 第62-66页 |
| 2.3 制程质量改善效果评价 | 第66-74页 |
| 2.4 本章小结 | 第74-75页 |
| 第三章 触控传感器的成品质量分析及改善 | 第75-87页 |
| 3.1 成品质量分析 | 第75-78页 |
| 3.1.1 断路不良 | 第76页 |
| 3.1.2 短路不良 | 第76-77页 |
| 3.1.3 成品良率的改善目标 | 第77-78页 |
| 3.2 成品质量改善 | 第78-85页 |
| 3.2.1 金属膜刮伤改善 | 第79-83页 |
| 3.2.2 金属膜剥落改善 | 第83-85页 |
| 3.3 成品质量改善效果评价 | 第85-86页 |
| 3.4 本章小结 | 第86-87页 |
| 第四章 结论与展望 | 第87-89页 |
| 4.1 结论 | 第87-88页 |
| 4.2 展望 | 第88-89页 |
| 参考文献 | 第89-91页 |
| 致谢 | 第91页 |
