| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| abstract | 第9页 |
| 第一章 绪论 | 第15-20页 |
| 1.1 概述 | 第15页 |
| 1.2 研究的目的和意义 | 第15-16页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第16-19页 |
| 1.3.1 单频激光干涉仪介绍 | 第16-17页 |
| 1.3.2 干涉信号误差补偿方法 | 第17-18页 |
| 1.3.3 干涉信号解调方法 | 第18-19页 |
| 1.4 课题来源、研究内容 | 第19-20页 |
| 第二章 单频干涉仪原理及硬件设计 | 第20-38页 |
| 2.1 迈克尔逊干涉仪位移测量原理 | 第20-21页 |
| 2.2 单频干涉仪光路设计 | 第21-28页 |
| 2.2.1 偏振干涉光路设计 | 第21-23页 |
| 2.2.2 偏振光光路分析 | 第23-28页 |
| 2.3 实验光路搭建 | 第28-31页 |
| 2.4 光电转换电路设计 | 第31-38页 |
| 2.4.1 光电探测器及放大器的选取 | 第31-34页 |
| 2.4.2 前置放大电路设计 | 第34-35页 |
| 2.4.3 差分放大电路设计 | 第35-38页 |
| 第三章 信号误差分析与处理算法设计 | 第38-49页 |
| 3.1 干涉仪误差分析 | 第38-40页 |
| 3.1.1 直流误差的影响 | 第38-39页 |
| 3.1.2 交流幅值误差的影响 | 第39页 |
| 3.1.3 相位误差的影响 | 第39-40页 |
| 3.1.4 正交信号误差模型 | 第40页 |
| 3.2 干涉仪误差补偿算法 | 第40-42页 |
| 3.3 解调算法设计 | 第42-49页 |
| 3.3.1 细分算法原理 | 第42-45页 |
| 3.3.2 高精度细分算法设计 | 第45-49页 |
| 第四章 信号处理系统软件设计 | 第49-61页 |
| 4.1 基于LabVIEW的信号处理结构设计 | 第49-53页 |
| 4.2 基于LabVIEW的控制与补偿模块设计 | 第53-58页 |
| 4.2.1 基于LabVIEW的控制模块设计 | 第53-57页 |
| 4.2.2 基于LabVIEW的误差补偿模块设计 | 第57-58页 |
| 4.3 基于LabVIEW FPGA的采集与解调模块设计 | 第58-61页 |
| 4.3.1 基于LabVIEW FPGA的采集模块设计 | 第58页 |
| 4.3.2 基于LabVIEW FPGA的解调模块设计 | 第58-61页 |
| 第五章 实验验证 | 第61-67页 |
| 5.1 补偿与细分算法验证 | 第61-65页 |
| 5.2 信号处理精度测试 | 第65-66页 |
| 5.3 静态稳定性测试 | 第66-67页 |
| 第六章 总结与展望 | 第67-69页 |
| 6.1 研究总结 | 第67-68页 |
| 6.2 展望 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第72-73页 |
