| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| abstract | 第9-10页 |
| 第一章 绪论 | 第17-23页 |
| 1.1 课题背景及研究意义 | 第17-18页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第18-21页 |
| 1.2.1 美国LLNL国家实验室的高精度温度控制系统 | 第19-20页 |
| 1.2.2 MWGroup公司的高精度温度控制系统 | 第20页 |
| 1.2.3 上海微电子装备有限公司(SMEE)的高精度温度控制系统 | 第20-21页 |
| 1.3 课题来源 | 第21页 |
| 1.4 论文主要内容及结构 | 第21-23页 |
| 第二章 气浴恒温箱系统基本原理与实现方法 | 第23-36页 |
| 2.1 温度场对光学仪器的影响 | 第23-28页 |
| 2.1.1 光学仪器内部的温度场 | 第23-25页 |
| 2.1.2 温度变化对光学系统的影响 | 第25-27页 |
| 2.1.3 空气折射率影响因素分析 | 第27-28页 |
| 2.2 气浴温度调节原理 | 第28-29页 |
| 2.3 加热及制冷方式分析 | 第29-32页 |
| 2.3.1 加热方式概述 | 第29-30页 |
| 2.3.2 制冷方式概述 | 第30-32页 |
| 2.3.3 温度调节器的选择 | 第32页 |
| 2.4 温度控制策略分析 | 第32-34页 |
| 2.4.1 温度控制策略比较 | 第32-34页 |
| 2.4.2 温度控制策略选择 | 第34页 |
| 2.5 高精度气浴恒温箱系统总体设计 | 第34-35页 |
| 2.6 本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 空气处理模块与恒温箱体设计 | 第36-48页 |
| 3.1 空气处理模块设计 | 第36-41页 |
| 3.1.1 空气处理模块结构设计 | 第36页 |
| 3.1.2 珀耳帖选型 | 第36-38页 |
| 3.1.3 风扇选型 | 第38-40页 |
| 3.1.4 空气均流板设计 | 第40-41页 |
| 3.2 气浴恒温箱体设计 | 第41-46页 |
| 3.2.1 恒温箱体区域划分 | 第42-43页 |
| 3.2.2 等风量风管设计 | 第43-44页 |
| 3.2.3 栅格气浴均流板设计 | 第44-45页 |
| 3.2.4 等风量送风系统设计 | 第45-46页 |
| 3.2.5 保温箱壳体设计 | 第46页 |
| 3.3 气浴温度均匀性仿真分析 | 第46-47页 |
| 3.4 本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 温度测控系统硬件设计 | 第48-65页 |
| 4.1 硬件电路总体结构 | 第48页 |
| 4.2 核心控制电路设计 | 第48-55页 |
| 4.2.1 微控制器(MCU)选型 | 第49-50页 |
| 4.2.2 电源管理模块设计 | 第50-51页 |
| 4.2.3 MCU最小系统设计 | 第51-53页 |
| 4.2.4 核心板上其他接口电路设计 | 第53-55页 |
| 4.3 温度采集电路设计 | 第55-59页 |
| 4.3.1 PT1000铂电阻温度传感器 | 第55-57页 |
| 4.3.2 基于ADS1247的A/D转换电路设计 | 第57-59页 |
| 4.4 珀耳帖驱动电路设计 | 第59-63页 |
| 4.4.1 DRV8303驱动器电路设计 | 第59-60页 |
| 4.4.2 MOSFET桥电路设计 | 第60-62页 |
| 4.4.3 电压转换与核心板接口电路设计 | 第62-63页 |
| 4.5 本章小结 | 第63-65页 |
| 第五章 温度测控系统软件设计 | 第65-73页 |
| 5.1 PID温度控制方案 | 第65-68页 |
| 5.1.1 经典PID控制方法 | 第65-67页 |
| 5.1.2 数字PID控制方法 | 第67-68页 |
| 5.2 软件总体结构 | 第68-71页 |
| 5.2.1 主程序设计 | 第69-70页 |
| 5.2.2 温度数据采集程序设计 | 第70页 |
| 5.2.3 PID控制算法程序设计 | 第70-71页 |
| 5.2.4 PWM输出控制程序设计 | 第71页 |
| 5.3 本章小结 | 第71-73页 |
| 第六章 实验结果与数据分析 | 第73-80页 |
| 6.1 实验装置与环境 | 第73-74页 |
| 6.2 气浴恒温箱温控稳定性实验 | 第74-77页 |
| 6.3 气浴恒温箱温度均匀性实验 | 第77-78页 |
| 6.4 本章小结 | 第78-80页 |
| 第七章 总结与展望 | 第80-82页 |
| 7.1 总结 | 第80页 |
| 7.2 问题与展望 | 第80-82页 |
| 参考文献 | 第82-85页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第85-86页 |
