| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-12页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 纳米级光栅位移测量发展现状 | 第10页 |
| 1.3 课题主要研究内容 | 第10-12页 |
| 第2章 莫尔条纹位移测量原理 | 第12-15页 |
| 2.1 莫尔条纹的形成及特点 | 第12-13页 |
| 2.2 光栅位移测量原理 | 第13-14页 |
| 2.3 本章小结 | 第14-15页 |
| 第3章 CMOS 莫尔条纹细分原理 | 第15-33页 |
| 3.1 传统莫尔条纹细分方法 | 第15-19页 |
| 3.1.1 幅值细分 | 第15-17页 |
| 3.1.2 相位细分 | 第17-18页 |
| 3.1.3 CCD 细分 | 第18-19页 |
| 3.2 CMOS 纳米级细分原理 | 第19-32页 |
| 3.2.1 CMOS 细分 | 第19-22页 |
| 3.2.2 校正 MPFFT 测相算法 | 第22-32页 |
| 3.3 本章小结 | 第32-33页 |
| 第4章 莫尔条纹图像采集系统设计 | 第33-44页 |
| 4.1 光学模块 | 第33-34页 |
| 4.2 图像采集模块 | 第34-42页 |
| 4.2.1 CMOS 传感器及分类 | 第34-35页 |
| 4.2.2 DLIS_2K 线阵 CMOS 传感器 | 第35-37页 |
| 4.2.3 DLIS_2K 驱动和配置 | 第37-42页 |
| 4.3 FPGA 信号产生与处理模块 | 第42-43页 |
| 4.4 本章小结 | 第43-44页 |
| 第5章 光栅位移测量算法实现 | 第44-56页 |
| 5.1 校正 MPFFT 模块设计 | 第44-53页 |
| 5.1.1 MPFFT 模块 | 第45-52页 |
| 5.1.2 相位校正模块 | 第52-53页 |
| 5.2 位移量计算模块设计 | 第53-55页 |
| 5.3 本章小结 | 第55-56页 |
| 第6章 系统调试 | 第56-59页 |
| 6.1 FPGA 电路调试 | 第56-58页 |
| 6.2 CMOS 电路调试 | 第58页 |
| 6.3 本章小结 | 第58-59页 |
| 第7章 结论 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |
| 在学研究成果 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65页 |