| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 引言 | 第9-17页 |
| 1.1 课题来源 | 第9页 |
| 1.2 课题研究背景及意义 | 第9-10页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第10-13页 |
| 1.4 主要干涉测量结构及特点 | 第13-15页 |
| 1.4.1 Michelson干涉结构 | 第14页 |
| 1.4.2 Linnik干涉结构 | 第14-15页 |
| 1.4.3 Mirau干涉结构 | 第15页 |
| 1.5 本文主要研究工作 | 第15-17页 |
| 第2章 表面形貌多波长干涉测量原理及光路设计 | 第17-23页 |
| 2.1 相移干涉理论与测量原理 | 第17-19页 |
| 2.1.1 相移干涉 | 第17-18页 |
| 2.1.2 相移三步法和四步法 | 第18-19页 |
| 2.2 双波长干涉测量原理 | 第19-20页 |
| 2.3 多波长干涉测量原理 | 第20-21页 |
| 2.4 基于Mirau光路的干涉测量光路设计 | 第21-22页 |
| 2.4.1 测量光路结构及原理 | 第21页 |
| 2.4.2 多波长干涉测量过程 | 第21-22页 |
| 2.5 本章小结 | 第22-23页 |
| 第3章 表面形貌多波长干涉测量系统及相移驱动 | 第23-37页 |
| 3.1 多波长干涉测量系统的设计 | 第23-24页 |
| 3.1.1 系统结构图和主要组成部分 | 第23-24页 |
| 3.1.2 各组成部分功能与要求 | 第24页 |
| 3.2 系统主要器件的选择 | 第24-30页 |
| 3.2.1 波长轮换装置特性分析 | 第24-26页 |
| 3.2.2 滤光片的选择 | 第26-27页 |
| 3.2.3 相移器件的选择 | 第27-29页 |
| 3.2.4 图像采集单元 | 第29-30页 |
| 3.3 相移及图像采集系统软件实现 | 第30-31页 |
| 3.3.1 基于java编写软件控制界面及要求分析 | 第30页 |
| 3.3.2 主要控制工作流程 | 第30-31页 |
| 3.4 干涉系统联动调试 | 第31-32页 |
| 3.5 物镜相移驱动特性 | 第32-35页 |
| 3.5.1 动态性能 | 第32-35页 |
| 3.5.2 静态性能 | 第35页 |
| 3.6 本章小结 | 第35-37页 |
| 第4章 相位识别的方法 | 第37-46页 |
| 4.1 基于椭圆拟合的相位识别原理 | 第37-41页 |
| 4.1.1 干涉序列的灰度图处理 | 第37-38页 |
| 4.1.2 单像素点下的灰度序列与拟合过程 | 第38-40页 |
| 4.1.3 单像素点拟合的误差问题 | 第40-41页 |
| 4.2 提高相位拟合精度的方法 | 第41-45页 |
| 4.2.1 对干涉图的预处理 | 第41-42页 |
| 4.2.2 选取相差π/2像素点的方法 | 第42-43页 |
| 4.2.3 提高灰度值精度的方法 | 第43-45页 |
| 4.3 本章小结 | 第45-46页 |
| 第5章 相移抽取实验结果及分析 | 第46-53页 |
| 5.1 实验验证 | 第46-52页 |
| 5.1.1 非等步长仿真相移抽取 | 第46-48页 |
| 5.1.2 等步长仿真相移抽取 | 第48-49页 |
| 5.1.3 实验相移步长抽取 | 第49-52页 |
| 5.2 误差来源 | 第52页 |
| 5.3 本章小结 | 第52-53页 |
| 第6章 总结与展望 | 第53-55页 |
| 6.1 全文总结 | 第53页 |
| 6.2 研究展望 | 第53-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-59页 |
| 附录一 攻读硕士学位期间的成果 | 第59页 |