| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 引言 | 第9-16页 |
| 1.1 课题来源 | 第9页 |
| 1.2 课题研究目的与意义 | 第9-10页 |
| 1.3 多波长表面三维形貌测量的国内外现状 | 第10-14页 |
| 1.4 本文主要研究内容和章节安排 | 第14-16页 |
| 第2章 系统原理与设计 | 第16-29页 |
| 2.1 表面形貌测量系统原理 | 第16-19页 |
| 2.1.1 相移干涉理论 | 第16-18页 |
| 2.1.2 多波长表面形貌测量原理 | 第18-19页 |
| 2.2 系统设计 | 第19-21页 |
| 2.3 多波长表面形貌测量光路设计 | 第21-24页 |
| 2.3.1 LINNIK光路设计 | 第21-22页 |
| 2.3.2 多波白光光源选型 | 第22-23页 |
| 2.3.3 滤光片选取 | 第23-24页 |
| 2.4 扫描定位单元设计 | 第24-27页 |
| 2.5 图像采集单元设计 | 第27-28页 |
| 2.6 本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 软件设计中若干关键技术 | 第29-39页 |
| 3.1 多波长形貌测量中波长校准算法 | 第29-33页 |
| 3.1.1 多波长测量系统波长选择 | 第29页 |
| 3.1.2 波长校准过程及结果 | 第29-33页 |
| 3.2 ICP算法与KD-TREE相结合的形貌拼接算法 | 第33-38页 |
| 3.2.1 干涉图像的三维形貌重构 | 第33-34页 |
| 3.2.2 三维形貌图像预处理 | 第34-36页 |
| 3.2.3 形貌图像配准与融合 | 第36-38页 |
| 3.3 本章小结 | 第38-39页 |
| 第4章 软件设计与测试 | 第39-50页 |
| 4.1 软件需求分析 | 第39-40页 |
| 4.2 软件系统界面开发与三维曲面显示 | 第40-43页 |
| 4.3 软件功能测试 | 第43-44页 |
| 4.4 试验结果与误差分析 | 第44-49页 |
| 4.4.1 粗糙度评定基准与参数建立 | 第44-47页 |
| 4.4.2 表面三维形貌的评定 | 第47-48页 |
| 4.4.3 误差来源分析 | 第48-49页 |
| 4.5 本章小节 | 第49-50页 |
| 第5章 总结与展望 | 第50-52页 |
| 5.1 全文总结 | 第50-51页 |
| 5.2 全文展望 | 第51-52页 |
| 致谢 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-56页 |
| 附录 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第56页 |