| 中文摘要 | 第3-5页 |
| 英文摘要 | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第10-24页 |
| 1.1 课题来源 | 第10页 |
| 1.2 课题背景及研究意义 | 第10-11页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第11-20页 |
| 1.3.1 精密转台研制现状 | 第11-12页 |
| 1.3.2 分度误差校正技术研究现状 | 第12-16页 |
| 1.3.3 回转误差检测与分离技术研究现状 | 第16-20页 |
| 1.4 课题研究内容和技术路线 | 第20-24页 |
| 1.4.1 研究内容 | 第20页 |
| 1.4.2 技术路线 | 第20-24页 |
| 2 微纳CT系统对超精密转台指标需求分析 | 第24-34页 |
| 2.1 引言 | 第24页 |
| 2.2 微纳CT系统组成 | 第24页 |
| 2.3 微纳CT系统扫描方法及特点 | 第24-25页 |
| 2.4 电子束直线CT扫描方法下旋转中心偏移分析 | 第25-26页 |
| 2.5 微纳CT系统对超精密转台需求 | 第26-33页 |
| 2.5.1 空间分辨率(Spatial Resolution) | 第26-27页 |
| 2.5.2 径向跳动误差影响分析 | 第27-28页 |
| 2.5.3 轴向跳动误差影响分析 | 第28页 |
| 2.5.4 角分度误差影响分析 | 第28-30页 |
| 2.5.5 摆动误差影响分析 | 第30-31页 |
| 2.5.6 转动速率平稳性的影响分析 | 第31-33页 |
| 2.6 本章小结 | 第33-34页 |
| 3 超精密转台关键技术研究 | 第34-82页 |
| 3.1 引言 | 第34页 |
| 3.2 气体润滑基本理论研究 | 第34-41页 |
| 3.2.1 纳维-斯托克斯方程 | 第35-37页 |
| 3.2.2 雷诺方程 | 第37-38页 |
| 3.2.3 由雷诺方程推导气体轴承方程 | 第38-41页 |
| 3.3 静压空气轴承理论 | 第41-61页 |
| 3.3.1 狭缝间的气流 | 第42-47页 |
| 3.3.2 通过气孔的气流 | 第47-51页 |
| 3.3.3 静压空气轴承性能 | 第51-56页 |
| 3.3.4 静压空气轴承稳定性 | 第56-61页 |
| 3.4 提高静压空气轴承回转精度方法研究 | 第61-66页 |
| 3.5 超精密转台设计与仿真 | 第66-80页 |
| 3.5.1 静压空气轴承设计 | 第66-67页 |
| 3.5.2 仿真分析 | 第67-79页 |
| 3.5.3 静压空气轴承及超精密转台试制 | 第79-80页 |
| 3.6 本章小结 | 第80-82页 |
| 4 超精密转台径向跳动检测及误差分离技术研究 | 第82-94页 |
| 4.1 引言 | 第82页 |
| 4.2 径向跳动检测及误差分离技术研究 | 第82-88页 |
| 4.2.1 单测头三点两次转位径向跳动误差检测与分离 | 第82-84页 |
| 4.2.2 检测及误差分离方法 | 第84-87页 |
| 4.2.3 仿真分析 | 第87-88页 |
| 4.3 试验分析 | 第88-92页 |
| 4.4 本章小结 | 第92-94页 |
| 5 超精密转台分度误差校正技术研究 | 第94-108页 |
| 5.1 引言 | 第94页 |
| 5.2 精密转台分度误差分析 | 第94-97页 |
| 5.2.1 圆光栅安装偏心 | 第94-95页 |
| 5.2.2 圆光栅安装倾斜 | 第95-97页 |
| 5.3 角分度误差校正方法研究 | 第97-102页 |
| 5.3.1 多次谐波校正方法 | 第97-98页 |
| 5.3.2 线性补偿校正方法 | 第98-99页 |
| 5.3.3 多探头校正方法 | 第99-101页 |
| 5.3.4 基于稀疏分解的误差补偿校正方法 | 第101-102页 |
| 5.4 试验分析 | 第102-107页 |
| 5.5 本章小结 | 第107-108页 |
| 6 测试试验分析 | 第108-122页 |
| 6.1 轴向跳动测试 | 第108页 |
| 6.2 摆动误差测试 | 第108-110页 |
| 6.3 速率波动测试 | 第110-116页 |
| 6.4 承载力测测试 | 第116-119页 |
| 6.5 刚度测试 | 第119-120页 |
| 6.6 本章小结 | 第120-122页 |
| 7 总结与展望 | 第122-124页 |
| 致谢 | 第124-126页 |
| 参考文献 | 第126-136页 |
| 附录 | 第136-137页 |
| A. 作者在攻读学位期间发表的论文目录 | 第136页 |
| B．作者在攻读学位期间专利目录 | 第136页 |
| C．作者在攻读学位期间制定的国家标准目录 | 第136页 |
| D．作者在攻读学位期间科研获奖情况 | 第136页 |
| E．作者在攻读学位期间承担或参与主要科研项目情况 | 第136-137页 |