| 中文摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 课题研究意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外发展现状与趋势 | 第11-14页 |
| 1.2.1 发展现状 | 第11-14页 |
| 1.2.2 发展趋势 | 第14页 |
| 1.3 本文主要内容 | 第14-16页 |
| 第二章 MEMS电容式加速度传感器工作原理 | 第16-41页 |
| 2.1 电容式加速度传感器的基本原理 | 第16-17页 |
| 2.2 微机械电容式加速度传感器的三种常见结构 | 第17-18页 |
| 2.2.1 梳齿式硅微机械加速度传感器 | 第17页 |
| 2.2.2 扭摆式电容加速度传感器 | 第17-18页 |
| 2.2.3 三明治摆式电容加速度传感器 | 第18页 |
| 2.3 本课题研究的MEMS加速度传感器 | 第18-25页 |
| 2.3.1 MEMS传感器原理和建模 | 第18-21页 |
| 2.3.2 加速度传感器结构和系统级仿真 | 第21-25页 |
| 2.4 影响加速度传感器稳定性和噪声的因素 | 第25-30页 |
| 2.4.1 参考电压 | 第25-26页 |
| 2.4.2 环路滤波器系数 | 第26-30页 |
| 2.5 开发平台与测试工具介绍 | 第30-40页 |
| 2.5.1 基于FPGA SOPC系统 | 第31-32页 |
| 2.5.2 NIOS II 软核 | 第32-33页 |
| 2.5.3 SOPC系统的建立 | 第33-34页 |
| 2.5.4 在本文中的应用 | 第34-40页 |
| 2.5.4.1 FPGA开发套件 | 第34-35页 |
| 2.5.4.2 数-模转换模块 | 第35-37页 |
| 2.5.4.3 模-数转换模块 | 第37-40页 |
| 2.6 本章小结 | 第40-41页 |
| 第三章 重力场标定实验及系统噪声测试 | 第41-50页 |
| 3.1 温度重力场标定系统 | 第41-43页 |
| 3.2 补偿电容 | 第43-45页 |
| 3.3 静态偏差 | 第45-46页 |
| 3.4 灵敏度 | 第46页 |
| 3.5 系统噪声测试 | 第46-49页 |
| 3.5.1 模拟闭环加速度传感器系统噪声测试 | 第47-48页 |
| 3.5.2 数字闭环加速度传感器系统噪声测试 | 第48-49页 |
| 3.6 本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 参考电压噪声测试 | 第50-60页 |
| 4.1 数字闭环加速度传感器噪声源 | 第50-52页 |
| 4.2 参考电压噪声测试 | 第52-56页 |
| 4.3 参考电压噪声性能改进 | 第56-58页 |
| 4.4 参考电压噪声对数字闭环加速度传感器系统噪声的影响 | 第58-59页 |
| 4.5 本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 比例微分器及积分器测试 | 第60-83页 |
| 5.1 PD测试 | 第60-66页 |
| 5.1.1 测试原理 | 第60-62页 |
| 5.1.2 测试结果分析 | 第62-66页 |
| 5.2 积分器测试 | 第66-82页 |
| 5.2.1 基本测试原理 | 第66-69页 |
| 5.2.2 第一个积分器测试 | 第69-78页 |
| 5.2.3 第二个和第三个积分器测试 | 第78-82页 |
| 5.3 本章小结 | 第82-83页 |
| 第六章 总结与展望 | 第83-84页 |
| 参考文献 | 第84-87页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第87-88页 |
| 致谢 | 第88-89页 |