| 中文摘要 | 第3-4页 |
| 英文摘要 | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第9-29页 |
| 1.1 研究背景 | 第9-10页 |
| 1.2 超疏水 | 第10-18页 |
| 1.2.1 润湿 | 第10-11页 |
| 1.2.2 超疏水的基本理论模型 | 第11-14页 |
| 1.2.3 滚动角与接触滞后 | 第14-15页 |
| 1.2.4 超疏水薄膜的研究现状 | 第15-17页 |
| 1.2.5 基于超疏水理论的其他领域的发展 | 第17-18页 |
| 1.3 光滑表面制备超疏水薄膜的难点及应用 | 第18-19页 |
| 1.3.1 在玻璃等光滑表面制备超疏水薄膜的难点 | 第18-19页 |
| 1.3.2 在玻璃等平滑表面制备超疏水薄膜的应用价值 | 第19页 |
| 1.4 PTFE超疏水薄膜 | 第19-25页 |
| 1.4.1 PTFE超疏水薄膜研究现状 | 第19-21页 |
| 1.4.2 磁控溅射PTFE薄膜的难点 | 第21-22页 |
| 1.4.3 磁控溅射PTFE薄膜的疏水机理 | 第22-25页 |
| 1.5 磁控溅射技术 | 第25-28页 |
| 1.5.1 溅射 | 第25-26页 |
| 1.5.2 磁控溅射技术工作原理 | 第26-27页 |
| 1.5.3 磁控溅射的成膜原理 | 第27-28页 |
| 1.6 研究目的与创新点 | 第28-29页 |
| 2 材料及实验方法 | 第29-33页 |
| 2.1 实验材料和试剂 | 第29页 |
| 2.2 实验设备与参数 | 第29-30页 |
| 2.3 薄膜制备流程 | 第30-32页 |
| 2.4 薄膜的表征 | 第32-33页 |
| 3 磁控溅射聚四氟乙烯低温超疏水薄膜的制备工艺研究 | 第33-45页 |
| 3.1 玻璃基底粗糙度与表面形貌 | 第33-35页 |
| 3.2 磁控溅射工艺参数对PTFE薄膜疏水性能的影响 | 第35-39页 |
| 3.2.1 正交试验设计 | 第35-36页 |
| 3.2.2 正交实验结果分析 | 第36-37页 |
| 3.2.3 溅射时间和氩气压强对PTFE薄膜疏水性能的影响 | 第37-38页 |
| 3.2.4 真空室环境温度对PTFE薄膜疏水性能的影响 | 第38-39页 |
| 3.3 PTFE薄膜表面形貌分析 | 第39-40页 |
| 3.3.1 真空室环境温度对薄膜表面形貌的影响 | 第39-40页 |
| 3.3.2 溅射时间对薄膜表面形貌的影响 | 第40页 |
| 3.4 表面粗糙度及薄膜厚度分析 | 第40-41页 |
| 3.5 PTFE薄膜的低温超疏水性能 | 第41-43页 |
| 3.5.1 PTFE薄膜超疏水低温冷冻耐久性 | 第41-42页 |
| 3.5.2 循环冷冻的耐久性 | 第42-43页 |
| 3.6 小结 | 第43-45页 |
| 4 磁控溅射制备透明超疏水PTFE薄膜的性能研究 | 第45-61页 |
| 4.1 靶1溅射PTFE薄膜及其性能研究 | 第45-51页 |
| 4.1.1 溅射时间与薄膜厚度、疏水性能 | 第45-47页 |
| 4.1.2 薄膜组成 | 第47-48页 |
| 4.1.3 表面形貌与粗糙度 | 第48-49页 |
| 4.1.4 透明与弹跳性能 | 第49-50页 |
| 4.1.5 薄膜的可见光透过率 | 第50页 |
| 4.1.6 小结 | 第50-51页 |
| 4.2 靶2加热溅射PTFE薄膜及其性能研究 | 第51-61页 |
| 4.2.1 溅射时间与薄膜厚度、疏水性能 | 第51-52页 |
| 4.2.2 薄膜的组成 | 第52-55页 |
| 4.2.3 表面形貌与粗糙度 | 第55-58页 |
| 4.2.4 薄膜的可见光透过率 | 第58-59页 |
| 4.2.5 薄膜的透明超疏水现象 | 第59页 |
| 4.2.6 小结 | 第59-61页 |
| 5 磁控溅射制备透明超疏水PTFE薄膜的机理研究 | 第61-79页 |
| 5.1 靶材成分对磁控溅射制备PTFE超疏水薄膜的影响 | 第61-67页 |
| 5.1.1 靶材成分分析 | 第61-62页 |
| 5.1.2 薄膜膜厚与静态水接触角 | 第62-64页 |
| 5.1.3 成分对疏水性能的影响 | 第64-66页 |
| 5.1.4 薄膜可见光透过率 | 第66页 |
| 5.1.6 小结 | 第66-67页 |
| 5.2 真空室环境温度对磁控溅射制备PTFE超疏水薄膜的影响 | 第67-79页 |
| 5.2.1 真空室环境温度对薄膜厚度、疏水性能的影响 | 第67-68页 |
| 5.2.2 常温下溅射薄膜的水滴坍塌现象 | 第68-69页 |
| 5.2.3 真空室环境温度对薄膜组成的影响 | 第69-71页 |
| 5.2.4 真空室环境温度对薄膜形貌与粗糙度的影响 | 第71-74页 |
| 5.2.5 真空室环境温度对薄膜可见光透过率、颜色的影响 | 第74-76页 |
| 5.2.6 小结 | 第76-79页 |
| 6 结论与展望 | 第79-81页 |
| 6.1 结论 | 第79-80页 |
| 6.2 展望 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81-83页 |
| 参考文献 | 第83-89页 |
| 附录 | 第89页 |
| A. 攻读硕士期间发表论文 | 第89页 |
