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数控高真空超高温区域熔炼炉研究

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
第一章 绪论第9-17页
    1.1 数控高真空超高温区域熔炼炉的提出及概况第9-12页
        1.1.1 定向凝固第9-10页
        1.1.2 晶体生长第10-11页
        1.1.3 区域熔炼第11-12页
    1.2 材料制备设备的研究现状第12-14页
        1.2.1 真空感应熔炼炉第12-13页
        1.2.2 晶体生长炉第13-14页
    1.3 课题的研究意义第14-15页
    1.4 课题主要设计参数第15页
    1.5 论文总体安排第15-17页
第二章 数控高真空超温区域熔炼炉真空系统设计第17-22页
    2.1 真空知识概论第17-18页
    2.2 真空系统的组成第18-19页
    2.3 高真空的获得第19-21页
    2.4 本章小结第21-22页
第三章 数控高真空超高温区域熔炼炉加热系统设计第22-25页
    3.1 高频感应加热第22-23页
        3.1.1 高频感应加热的原理第22页
        3.1.2 高频感应加热的特点第22-23页
        3.1.3 高频感应加热装置第23页
    3.2 电阻加热第23-24页
        3.2.1 电阻加热的原理第23-24页
        3.2.2 电阻加热装置第24页
    3.3 本章小结第24-25页
第四章 数控高真空超高温区域熔炼炉坩埚运动装置设计第25-46页
    4.1 设计思路第25-26页
    4.2 坩埚轴向升降装置设计第26-40页
        4.2.1 转速变化差大的工进-快进变速装置第27-30页
        4.2.2 滚珠丝杠副的选型设计第30-34页
        4.2.3 交流伺服电机及其驱动器的选型设计第34-37页
        4.2.4 减速器的选型设计第37-39页
        4.2.5 电磁离合器的选型设计第39页
        4.2.6 坩埚轴向升降控制第39-40页
    4.3 坩埚正反转旋转装置设计第40-43页
        4.3.1 坩埚正反转旋转装置第40-41页
        4.3.2 交流伺服电机及其驱动器选型设计第41-42页
        4.3.3 行星减速器选型设计第42-43页
        4.3.4 坩埚正反转旋转控制第43页
    4.4 其它机械部件的选用第43-45页
        4.4.1 光栅尺的选型设计第43-44页
        4.4.2 直线导轨的选型设计第44-45页
    4.5 本章小结第45-46页
第五章 数控高真空超高温区域熔炼炉的研制及实验调制第46-57页
    5.1 数控高真空超高温区域熔炼炉的研制第46-54页
    5.2 氧化物共晶陶瓷制备第54-55页
        5.2.1 氧化物共晶陶瓷特性第54页
        5.2.2 氧化物共晶陶瓷制备流程第54-55页
    5.3 本章小结第55-57页
第六章 总结与展望第57-59页
致谢第59-60页
参考文献第60-63页
攻读硕士学位期间发表的论文、参加的科研项目及获奖情况第63页

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