| 摘要 | 第2-3页 |
| Abstract | 第3-4页 |
| 1 绪论 | 第7-20页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第7-9页 |
| 1.2 压电悬臂梁传感器研究现状 | 第9-18页 |
| 1.2.1 基于频差测量的微质量测量 | 第10-13页 |
| 1.2.2 基于阻抗变化的微质量探测 | 第13-18页 |
| 1.3 本文主要工作 | 第18-20页 |
| 2 压电悬臂梁式微质量传感器机电耦合动力学特性分析 | 第20-39页 |
| 2.1 概述 | 第20页 |
| 2.2 压电悬臂梁传感器振型函数 | 第20-29页 |
| 2.2.1 悬臂梁自由振动微分方程 | 第21-25页 |
| 2.2.2 压电悬臂梁传感器振动微分方程 | 第25-28页 |
| 2.2.3 压电悬臂梁传感器谐振频率分析 | 第28-29页 |
| 2.3 压电悬臂梁传感器主坐标运动微分方程 | 第29-31页 |
| 2.4 压电悬臂梁传感器机电耦合动态特性分析 | 第31-38页 |
| 2.4.1 双压电振子电压载荷转化为力矩 | 第31-32页 |
| 2.4.2 压电悬臂梁传感器电压载荷转化为力矩 | 第32-34页 |
| 2.4.3 压电悬臂梁传感器机电耦合模型 | 第34-38页 |
| 2.5 本章小结 | 第38-39页 |
| 3 基于阻抗变化的微质量传感器灵敏度模型 | 第39-53页 |
| 3.1 概述 | 第39页 |
| 3.2 特定频率阻抗灵敏度模型 | 第39-46页 |
| 3.2.1 微质量探测灵敏度的描述方式 | 第39-41页 |
| 3.2.2 基于阻抗变化的灵敏度分析模型 | 第41-44页 |
| 3.2.3 实验验证 | 第44-46页 |
| 3.3 结构参数对灵敏度影响 | 第46-52页 |
| 3.3.1 长度变化对灵敏度影响 | 第46-48页 |
| 3.3.2 宽度变化对灵敏度影响 | 第48页 |
| 3.3.3 厚度变化对灵敏度影响 | 第48-49页 |
| 3.3.4 实验验证 | 第49-52页 |
| 3.4 本章小结 | 第52-53页 |
| 4 压电式微质量传感器机电耦合协同设计方法 | 第53-63页 |
| 4.1 概述 | 第53页 |
| 4.2 考虑测量电路影响的传感器灵敏度分析模型 | 第53-61页 |
| 4.2.1 附加串联电路的传感器灵敏度模型 | 第53-57页 |
| 4.2.2 附加并联电路的传感器灵敏度模型 | 第57-61页 |
| 4.3 本章小结 | 第61-63页 |
| 结论 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-71页 |