| 第一章 绪 论 | 第6-12页 |
| 1.1 本课题的研究背景及意义 | 第6-7页 |
| 1.2 镜面机构的设计 | 第7-10页 |
| 1.3 国内外的发展状况 | 第10页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第10-12页 |
| 第二章 微位移器及其驱动电路设计 | 第12-34页 |
| 2.1 引言 | 第12页 |
| 2.2 压电陶瓷的原理与特性 | 第12-18页 |
| 2.2.1 压电陶瓷的压电效应及工作原理 | 第12-13页 |
| 2.2.2 压电陶瓷的位移特性 | 第13-16页 |
| 2.2.3 压电陶瓷的温度特性 | 第16页 |
| 2.2.4 压电陶瓷的迟滞特性 | 第16-17页 |
| 2.2.5 压电陶瓷的静态特性和动态特性 | 第17-18页 |
| 2.3 现有驱动电路的分析及局限性 | 第18-20页 |
| 2.3.1 压电驱动电源的类型 | 第18页 |
| 2.3.2 原理分析 | 第18-19页 |
| 2.3.3 串联调整稳压电路 | 第19页 |
| 2.3.4 放电回路 | 第19-20页 |
| 2.4 功率放大器的选择 | 第20-27页 |
| 2.5 新型驱动电路的设计 | 第27-30页 |
| 2.6 Pspice的仿真电路 | 第30-33页 |
| 2.7 本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 触动器控制电路设计 | 第34-49页 |
| 3.1 引言 | 第34页 |
| 3.2 单片机概述 | 第34-38页 |
| 3.2.1 MCS-51单片机硬件结构的特点 | 第34-36页 |
| 3.2.2 MCS-51单片机的复位状态及复位电路的设计 | 第36-38页 |
| 3.3 8位D/A转换器的接口设计 | 第38-42页 |
| 3.3.1 DAC 0832的应用特性 | 第38-40页 |
| 3.3.2 DAC 0832与8031单片机的接口设计 | 第40页 |
| 3.3.3 DAC0830系列的调节和双极性输出 | 第40-42页 |
| 3.4 可调精密电源的研究 | 第42-44页 |
| 3.5 上位机与单片机控制器通信接口 | 第44-46页 |
| 3.5.1 相互信道接口选择原则 | 第44-45页 |
| 3.5.2 相互信道接口设计 | 第45-46页 |
| 3.6 高精度的光栅干涉仪 | 第46-48页 |
| 3.7 本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 触动器影响函数模型建立及控制算法研究 | 第49-58页 |
| 4.1 触动器影响函数的模型选择 | 第49-50页 |
| 4.2 高斯影响函数对触动单元面形控制误差分析 | 第50-54页 |
| 4.3 标量卡尔曼预测 | 第54-57页 |
| 4.4 本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 控制电路的软件设计 | 第58-62页 |
| 5.1 引言 | 第58页 |
| 5.2 应用系统的软件设计 | 第58-61页 |
| 5.3 本章小结 | 第61-62页 |
| 第六章 全文总结与展望 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 摘要 | 第68-71页 |
| Abstract | 第71页 |