| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 第1章 绪论 | 第7-14页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第7-8页 |
| 1.2 微测试技术的国内外发展现状 | 第8-12页 |
| 1.2.1 动态参数检测技术的发展现状 | 第8-9页 |
| 1.2.2 静态参数检测技术的发展现状 | 第9-10页 |
| 1.2.3 微材料力学特性检测技术的发展现状 | 第10-12页 |
| 1.3 本论文的研究内容和目标 | 第12-13页 |
| 1.3.1 对静态几何参数的测量 | 第12-13页 |
| 1.3.2 对微材料力学性能的测量 | 第13页 |
| 1.4 论文结构 | 第13-14页 |
| 第2章 微结构静态几何参数测试系统 | 第14-34页 |
| 2.1 整体结构及工作原理 | 第14页 |
| 2.2 CCD 显微测量子系统及设计 | 第14-21页 |
| 2.2.1 测量原理 | 第14-15页 |
| 2.2.2 子系统组成 | 第15页 |
| 2.2.3 设计中存在的问题 | 第15-16页 |
| 2.2.4 螺旋微缝标定法 | 第16-17页 |
| 2.2.5 系统标定及标定结果 | 第17-19页 |
| 2.2.6 微结构图像测量软件的设计实现 | 第19页 |
| 2.2.7 测量实例 | 第19-21页 |
| 2.3 三向光纤照明子系统及设计 | 第21-33页 |
| 2.3.1 照明原理 | 第21-22页 |
| 2.3.2 子系统组成 | 第22页 |
| 2.3.3 光纤照明系统的机械结构设计 | 第22-26页 |
| 2.3.4 光强控制系统的硬件设计 | 第26-27页 |
| 2.3.5 光强控制系统的软件设计 | 第27-32页 |
| 2.3.6 照明效果 | 第32-33页 |
| 2.4 本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 MEMS 微材料力学性能测控系统 | 第34-80页 |
| 3.1 测量方法的选择 | 第34页 |
| 3.2 系统的功能要求分析 | 第34-35页 |
| 3.3 系统的整体结构 | 第35页 |
| 3.4 微材料力学性能测试机的设计实现 | 第35-41页 |
| 3.4.1 测试机的功能要求分析 | 第35-36页 |
| 3.4.2 测试机的整体结构 | 第36-37页 |
| 3.4.3 试样加载台的设计实现 | 第37-39页 |
| 3.4.4 微位移测量结构的设计实现 | 第39-41页 |
| 3.5 硬件控制系统设计 | 第41-57页 |
| 3.5.1 通信接口的选择 | 第41-43页 |
| 3.5.2 USB 微控制器芯片 CY7C63743 简介 | 第43-47页 |
| 3.5.3 硬件测控系统设计 | 第47-56页 |
| 3.5.4 测控卡的接口定义 | 第56-57页 |
| 3.6 USB 微控制器固件程序的设计实现 | 第57-67页 |
| 3.6.1 USB 微控制器固件程序简介 | 第57-59页 |
| 3.6.2 描述符的设计实现 | 第59-60页 |
| 3.6.3 固件主程序的设计实现 | 第60-67页 |
| 3.7 系统测控软件的设计实现 | 第67-77页 |
| 3.7.1 系统测控软件概述 | 第67-69页 |
| 3.7.2 系统测控软件的设计 | 第69-75页 |
| 3.7.3 系统测控软件的用户界面设计 | 第75-77页 |
| 3.8 MEMS 微材料力学性能测试实验 | 第77-78页 |
| 3.9 本章小结 | 第78-80页 |
| 结论 | 第80-82页 |
| 参考文献 | 第82-85页 |
| 附录 | 第85-86页 |
| 致谢 | 第86页 |