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电涡流位移测量误差与被测面几何形貌的关系模型及补偿

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
1 绪论第9-17页
    1.1 涡流检测背景第9-13页
        1.1.1 涡流检测的发展历史第9页
        1.1.2 涡流检测的研究现状第9-12页
        1.1.3 涡流检测的发展趋势第12-13页
    1.2 本文的研究内容与总体框架第13-17页
        1.2.1 课题背景第13-14页
        1.2.2 国内外研究进展第14-15页
        1.2.3 研究目标第15-16页
        1.2.4 研究任务第16-17页
2 涡流测量基本理论第17-25页
    2.1 电涡流传感器工作原理第17页
    2.2 电涡流阻抗分析法第17-20页
    2.3 涡流场计算中的电磁场理论基础第20-24页
        2.3.1 时变电磁场数学表述第20-21页
        2.3.2 位函数描述涡流场问题第21-24页
        2.3.3 涡流与集肤效应第24页
    2.4 本章小结第24-25页
3 电涡流扫描中边沿位置反演第25-31页
    3.1 边沿测量信号分析第25-26页
    3.2 反演算法设计第26-27页
    3.3 实验方案与结果分析第27-30页
    3.4 本章小结第30-31页
4 曲面零件涡流检测数值分析第31-44页
    4.1 有限元法实现方法第31-34页
    4.2 有限元模型建立第34-35页
    4.3 零件表面几何形貌对测量影响分析第35-37页
    4.4 典型试件表面曲率变化影响分析第37-40页
    4.5 线圈测量高度变化的影响分析第40-43页
    4.6 本章小结第43-44页
5 电涡流位移传感器曲面测量误差校准实验第44-59页
    5.1 不同被测表面几何形貌影响分析第44-51页
        5.1.1 实验原理及方法第44-45页
        5.1.2 实验装置及校准第45-49页
        5.1.3 测量数据及结果分析第49-51页
    5.2 不同曲率圆柱面、球面测量误差校准第51-58页
        5.2.1 实验方法及原理第51-52页
        5.2.2 实验装置及校准第52-53页
        5.2.3 检测过程及结果分析第53-58页
    5.3 本章小结第58-59页
6 电涡流传感器曲面测量系统精度分析第59-68页
    6.1 测量系统精度分析第59-63页
        6.1.1 电涡流位移传感器的测量稳定性第59-60页
        6.1.2 电涡流位移传感器的测量精度第60-61页
        6.1.3 电涡流位移传感器的重复测量精度第61页
        6.1.4 线性度第61-63页
    6.2 误差因素分析第63-67页
        6.2.1 温度对测量稳定性的影响第63-64页
        6.2.2 机床精度和三坐标测量机精度对标定影响第64页
        6.2.3 A/D转换误差第64页
        6.2.4 传感器探头偏移引起的误差分析第64-66页
        6.2.5 传感器探头偏摆角误差分析第66-67页
    6.3 本章小结第67-68页
结论第68-70页
参考文献第70-73页
附录A 实验测量数据采集程序第73-74页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第74-75页
致谢第75-76页

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