| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 课题来源及研究的背景和意义 | 第10-12页 |
| 1.1.1 课题的来源 | 第10页 |
| 1.1.2 课题研究的背景和意义 | 第10-12页 |
| 1.2 国内外在该方向的研究现状及分析 | 第12-15页 |
| 1.2.1 掠角沉积的计算机仿真研究 | 第12-14页 |
| 1.2.2 掠角沉积的相关实验研究 | 第14-15页 |
| 1.3 课题主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 掠角沉积分子动力学仿真系统的建立及仿真结构分析方法 | 第17-31页 |
| 2.1 引言 | 第17页 |
| 2.2 分子动力学方法简述 | 第17-21页 |
| 2.2.1 基本原理 | 第17-18页 |
| 2.2.2 分子动力学仿真计算的软件环境 | 第18-19页 |
| 2.2.3 分子动力学仿真结果分析工具 | 第19-21页 |
| 2.3 掠角沉积分子动力学仿真系统的初步建立 | 第21-24页 |
| 2.3.1 物理气相沉积过程及其物理模型 | 第21页 |
| 2.3.2 沉积基体模型设置 | 第21-22页 |
| 2.3.3 关键参数设置 | 第22-24页 |
| 2.4 掠角沉积分子动力学仿真系统合理性讨论 | 第24-26页 |
| 2.4.1 仿真系统准确性分析 | 第24-25页 |
| 2.4.2 仿真系统计算效率分析及平台选择 | 第25-26页 |
| 2.5 掠角沉积分子动力学仿真结构分析方法 | 第26-30页 |
| 2.5.1 径向分布函数统计 | 第26-27页 |
| 2.5.2 公共邻位分析技术 | 第27-28页 |
| 2.5.3 沉积结构生长初期倾斜角 | 第28-30页 |
| 2.6 本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 平面基体掠角沉积的分子动力学仿真 | 第31-47页 |
| 3.1 引言 | 第31页 |
| 3.2 掠角沉积过程中的沉积原子运动方式 | 第31-37页 |
| 3.2.1 沉积原子在基体表面的沉积方式 | 第31-34页 |
| 3.2.2 沉积结构倾斜角的纳观解释 | 第34-37页 |
| 3.3 掠角沉积结构沉积初期生长机理 | 第37-42页 |
| 3.3.1 多原子掠角沉积模型 | 第37-38页 |
| 3.3.2 掠角沉积层与沉积基体间的结合模式 | 第38-40页 |
| 3.3.3 掠角沉积入射能量的影响 | 第40-41页 |
| 3.3.4 基于公共邻位分析的掠角沉积结构生长机理 | 第41-42页 |
| 3.4 沉积入射角对平面基体掠角沉积初期结构的影响 | 第42-44页 |
| 3.4.1 沉积结构形貌分析 | 第42页 |
| 3.4.2 内部结构特征分析 | 第42-44页 |
| 3.5 平面基体掠角沉积形核机理 | 第44-46页 |
| 3.5.1 大规模平面基体掠角沉积模型 | 第44-45页 |
| 3.5.2 形核过程跟踪及分析 | 第45页 |
| 3.5.3 形核机理的纳观分析 | 第45-46页 |
| 3.6 本章小结 | 第46-47页 |
| 第4章 预置结构基体掠角沉积的分子动力学仿真 | 第47-58页 |
| 4.1 引言 | 第47页 |
| 4.2 单一预置结构基体上的掠角沉积过程 | 第47-51页 |
| 4.2.1 单一预置结构基体沉积过程模型 | 第47页 |
| 4.2.2 预置结构上掠角沉积结构的生长机理 | 第47-48页 |
| 4.2.3 沉积基体预置结构的损伤 | 第48-49页 |
| 4.2.4 沉积结构生长初期沉积入射角的影响 | 第49-51页 |
| 4.3 阵列预置结构基体上掠角沉积结构的初步分析 | 第51-57页 |
| 4.3.1 阵列预置结构掠角沉积模型 | 第51页 |
| 4.3.2 基于生长初期结构倾斜角的沉积结构分化机理 | 第51-53页 |
| 4.3.3 预置结构形状的影响 | 第53-54页 |
| 4.3.4 带有基体运动的掠角沉积的定性分析 | 第54-57页 |
| 4.4 本章小结 | 第57-58页 |
| 第5章 掠角沉积实验研究 | 第58-69页 |
| 5.1 引言 | 第58页 |
| 5.2 基于电子束蒸发沉积系统的掠角沉积平台的搭建 | 第58-61页 |
| 5.2.1 电子束蒸发物理气相沉积 | 第58-59页 |
| 5.2.2 变角度沉积基体卡具 | 第59页 |
| 5.2.3 掠角沉积实验装置 | 第59-61页 |
| 5.3 掠角沉积实验及表征方法 | 第61-63页 |
| 5.3.1 沉积基体的制备 | 第61-62页 |
| 5.3.2 掠角沉积实验过程 | 第62页 |
| 5.3.3 沉积结构的表征 | 第62-63页 |
| 5.4 掠角沉积实验结果及分析 | 第63-68页 |
| 5.4.1 平面基体变角度沉积初期沉积结构 | 第64-65页 |
| 5.4.2 掠角沉积仿真结果的定性验证 | 第65-66页 |
| 5.4.3 倾斜状掠角沉积结构及其生长过程 | 第66-68页 |
| 5.5 本章小结 | 第68-69页 |
| 结论 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第74-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
