应用于比长仪的光电显微镜的设计
摘要 | 第4-5页 |
ABSTRACT | 第5页 |
第一章 绪论 | 第8-12页 |
1.1 课题研究背景 | 第8页 |
1.2 国内外发展现状 | 第8-10页 |
1.3 课题研究的目的及意义 | 第10页 |
1.4 论文研究的主要内容 | 第10-12页 |
1.4.1 论文主要研究内容 | 第10页 |
1.4.2 论文主要技术指标 | 第10-12页 |
第二章 比长仪的工作原理及分类 | 第12-19页 |
2.1 立式接触式干涉比长仪 | 第12-13页 |
2.2 立式光学计 | 第13-14页 |
2.3 数字显示立式光学计 | 第14-15页 |
2.4 立式激光测长仪 | 第15-16页 |
2.5 万能测长仪 | 第16-17页 |
2.6 数字式万能测长仪 | 第17-19页 |
第三章 光电显微镜的工作原理 | 第19-24页 |
3.1 光电显微镜的工作原理 | 第19页 |
3.2 光电显微镜的总体设计方案 | 第19-20页 |
3.3 光电显微镜的光学成像原理 | 第20-24页 |
3.3.1 显微物镜的放大倍率 | 第21页 |
3.3.2 显微镜物镜的数值孔径 | 第21-22页 |
3.3.3 显微镜的分类 | 第22-23页 |
3.3.4 物方远心光路 | 第23-24页 |
第四章 光电显微镜的光学系统设计 | 第24-43页 |
4.1 显微镜物镜设计参数的确定 | 第24-25页 |
4.2 显微镜物镜的设计 | 第25-35页 |
4.2.1 初始结构的选取 | 第25-30页 |
4.2.2 显微物镜的优化设计 | 第30-32页 |
4.2.3 显微物镜的设计结果 | 第32-33页 |
4.2.4 显微物镜公差分析 | 第33-35页 |
4.3 观察系统的设计 | 第35-39页 |
4.3.1 观察小物镜系统的设计 | 第35-36页 |
4.3.2 观察目镜系统的设计 | 第36-38页 |
4.3.3 观察系统的公差分析 | 第38-39页 |
4.4 照明系统的设计 | 第39-41页 |
4.4.1 临界照明系统设计 | 第39-40页 |
4.4.2 柯勒照明系统设计 | 第40-41页 |
4.5 光电显微镜总体光学系统设计 | 第41-43页 |
第五章 光电转换与前置放大电路 | 第43-48页 |
5.1 光电转换器件 | 第43-45页 |
5.1.1 光电倍增管的结构与工作原理 | 第43-44页 |
5.1.2 光电倍增管的选择 | 第44-45页 |
5.2 前置放大电路 | 第45-46页 |
5.3 电信号的输出 | 第46-48页 |
第六章 瞄准精度分析与实验结果 | 第48-56页 |
6.1 狭缝与狭缝大小的确定 | 第48-49页 |
6.1.1 狭缝种类 | 第48页 |
6.1.2 狭缝宽度的确定 | 第48-49页 |
6.2 杂光对瞄准精度的影响 | 第49-51页 |
6.3 分划板的刻线对瞄准精度的影响 | 第51-52页 |
6.4 调焦误差对瞄准精度的影响 | 第52-53页 |
6.5 实验结果与精度 | 第53-56页 |
第七章 总结与展望 | 第56-58页 |
致谢 | 第58-59页 |
参考文献 | 第59-61页 |
攻读硕士期间发表的论文 | 第61页 |