| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-17页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第8-14页 |
| 1.1.1 ZnO单晶材料的发展 | 第8-9页 |
| 1.1.2 压力传感器的发展 | 第9-13页 |
| 1.1.3 声表面波技术的发展 | 第13-14页 |
| 1.2 国内外研究状况 | 第14-16页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第14-15页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第15页 |
| 1.2.3 发展趋势 | 第15-16页 |
| 1.3 本文的研究内容 | 第16-17页 |
| 第二章 声表面波传播理论及压力传感器设计 | 第17-30页 |
| 2.1 SAW的传播理论 | 第17-21页 |
| 2.1.1 声表面波的理论简介 | 第17-18页 |
| 2.1.2 声表面波传播方程 | 第18-21页 |
| 2.2 SAW压力传感器的类型 | 第21-24页 |
| 2.2.1 延迟线型 | 第21-22页 |
| 2.2.2 谐振器型 | 第22-23页 |
| 2.2.3 振荡器型 | 第23-24页 |
| 2.3 SAW压力传感器设计 | 第24-29页 |
| 2.3.1 压电材料的选择要求 | 第24-26页 |
| 2.3.2 SAW器件叉指换能器与反射栅的设计 | 第26-29页 |
| 2.4 本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 声表面波谐振器传播理论及有限元仿真 | 第30-47页 |
| 3.1 声表面波谐振器的原理分析 | 第30-31页 |
| 3.2 声表面波器件的几种模型的原理 | 第31-35页 |
| 3.2.1 δ模型 | 第31-32页 |
| 3.2.2 耦合模 | 第32-34页 |
| 3.2.3 P矩阵耦合模 | 第34-35页 |
| 3.3 有限元法方法简介以及COMSOL软件简介 | 第35-38页 |
| 3.3.1 有限元方法基本理论 | 第35-36页 |
| 3.3.2 有限元分析软件COMSOL | 第36-37页 |
| 3.3.3 创建 2D模型 | 第37-38页 |
| 3.4 ZnO单晶SAW谐振器的 2D有限元仿真 | 第38-41页 |
| 3.4.1 建立二维几何结构 | 第38-39页 |
| 3.4.2 结构区域设置及材料选择 | 第39-40页 |
| 3.4.3 设置边界条件 | 第40页 |
| 3.4.4 划分网格 | 第40-41页 |
| 3.5 COMSOL仿真结果及数据分析 | 第41-46页 |
| 3.5.1 正特征频率 | 第41-42页 |
| 3.5.2 反特征频率 | 第42-44页 |
| 3.5.3 位移特性分析 | 第44-45页 |
| 3.5.4 阻抗特性分析 | 第45-46页 |
| 3.6 本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 压力加载下的频率响应及器件结构分析 | 第47-58页 |
| 4.1 压力加载下的频率响应分析 | 第47-53页 |
| 4.1.1 建立几何结构 | 第47页 |
| 4.1.2 结构区域及边界条件设置 | 第47-48页 |
| 4.1.3 网格的划分 | 第48-49页 |
| 4.1.4 无压力加载时仿真数据分析 | 第49-53页 |
| 4.2 ZnO单晶SAW谐振器尺寸对器件特征频率的影响 | 第53-57页 |
| 4.2.1 IDT尺寸对谐振器的特性影响 | 第54-56页 |
| 4.2.2 ZnO基底厚度对谐振器的特性影响 | 第56-57页 |
| 4.3 本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 总结与展望 | 第58-59页 |
| 5.1 论文总结 | 第58页 |
| 5.2 论文展望 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间撰写的论文 | 第63-64页 |
| 附录2 攻读硕士学位期间参加的科研项目 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65页 |