| 摘要 | 第6-8页 |
| ABSTRACT | 第8-9页 |
| 第1章 绪论 | 第12-28页 |
| 1.1 微机电系统的材料发展演变 | 第12-15页 |
| 1.1.1 微机电系统的概念和应用 | 第12-13页 |
| 1.1.2 微机电系统的主要材料及加工工艺 | 第13-15页 |
| 1.2 玻璃材料微加工工艺 | 第15-25页 |
| 1.2.1 脆性材料及其在微机电系统(MEMS)中的应用 | 第15-17页 |
| 1.2.2 玻璃刻蚀微加工方法 | 第17-21页 |
| 1.2.3 玻璃喷砂微加工工艺进展 | 第21-25页 |
| 1.3 本课题的研究意义和主要研究内容 | 第25-28页 |
| 1.3.1 研究意义 | 第25-26页 |
| 1.3.2 研究内容 | 第26-28页 |
| 第2章 玻璃喷砂微加工的理论计算及仿真研究 | 第28-42页 |
| 2.1 塑性刻蚀与脆性刻蚀机制 | 第28-29页 |
| 2.2 喷砂刻蚀率的理论计算 | 第29-31页 |
| 2.3 砂材颗粒加速过程的有限元仿真 | 第31-33页 |
| 2.3.1 砂材颗粒加速过程的分析方法 | 第31-32页 |
| 2.3.2 喷砂射流的气固两相流模型 | 第32-33页 |
| 2.4 喷嘴内气体流场以及砂材喷射速度的仿真研究 | 第33-41页 |
| 2.4.1 几何模型及网格划分 | 第33-35页 |
| 2.4.2 喷嘴内气压及气体流场分析 | 第35-38页 |
| 2.4.3 喷射区域砂材颗粒速度分析 | 第38-40页 |
| 2.4.4 开放场中砂材颗粒运动分析 | 第40-41页 |
| 2.5 本章小结 | 第41-42页 |
| 第3章 喷砂刻蚀中基于MEMS工艺的掩膜制备 | 第42-55页 |
| 3.1 喷砂刻蚀过程中的掩膜材料 | 第42-44页 |
| 3.2 玻璃喷砂刻蚀掩膜微结构的制备工艺 | 第44-53页 |
| 3.2.1 金属掩膜工艺制备 | 第44-48页 |
| 3.2.2 柔性掩膜(PDMS)工艺制备 | 第48-52页 |
| 3.2.3 玻璃喷砂掩膜结构制备工艺的优化 | 第52-53页 |
| 3.3 本章小结 | 第53-55页 |
| 第4章 玻璃喷砂微加工实验研究 | 第55-68页 |
| 4.1 玻璃喷砂微加工实验概述 | 第55-60页 |
| 4.1.1 传统玻璃喷砂加工清洗机 | 第55-56页 |
| 4.1.2 玻璃喷砂微加工工艺优化 | 第56-60页 |
| 4.2 玻璃喷砂微加工实验结果及分析 | 第60-67页 |
| 4.2.1 实验参数对玻璃喷砂刻蚀效果影响及分析 | 第60-66页 |
| 4.2.2 对玻璃喷砂通孔加工的分析 | 第66-67页 |
| 4.3 本章小结 | 第67-68页 |
| 第5章 总结与展望 | 第68-70页 |
| 5.1 主要结论 | 第68-69页 |
| 5.2 主要创新点 | 第69页 |
| 5.3 研究展望 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第75-76页 |
| 攻读硕士学位期间申请的发明专利 | 第76页 |