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基于蛋白质基底的ZnO半导体薄膜材料的生长

摘要第5-6页
Abstract第6-7页
第1章 绪论第10-22页
    1.1 课题研究背景及意义第10-11页
    1.2 课题研究的国内外发展现状及分析第11-16页
    1.3 ZnO的基本性质第16-17页
    1.4 生长ZnO衬底材料的分类及选择第17-19页
        1.4.1 衬底材料的分类第17-19页
        1.4.2 衬底材料的选择第19页
    1.5 论文研究的主要研究内容第19-21页
        1.5.1 玉米醇溶蛋白膜的制备及特性研究第19-20页
        1.5.2 基于玉米醇溶蛋白膜低温下ZnO的可控性生长及特性研究第20-21页
    1.6 创新点第21-22页
第二章 实验材料与设备第22-26页
    2.1 制备玉米醇溶蛋白膜的材料及实验设备第22-24页
        2.1.1 制备玉米醇溶蛋白膜的原料及试剂第22页
        2.1.2 制备玉米醇溶蛋白膜及分析的实验设备第22-24页
    2.2 基于玉米醇溶蛋白膜低温下ZnO生长的实验及表征的设备第24-25页
    2.3 本章小结第25-26页
第三章 玉米醇溶蛋白膜的制备与表征第26-41页
    3.1 制备玉米醇溶蛋白膜的实验方案第26-29页
        3.1.1 乙醇浓度的选择实验第26页
        3.1.2 水浴捏合温度的选择实验第26-27页
        3.1.3 乙醇溶液添加量的选择实验第27页
        3.1.4 增塑剂的选择及用量试验第27-28页
        3.1.5 成膜介质选择实验第28-29页
    3.2 玉米醇溶蛋白膜各项性能测试实验第29-31页
        3.2.1 玉米醇溶蛋白膜机械性能测试第29-30页
        3.2.2 玉米醇溶蛋白膜水溶性的测定第30页
        3.2.3 玉米醇溶蛋白膜透光率的测定第30页
        3.2.4 玉米醇溶蛋白膜玻璃态转移点测试实验第30页
        3.2.5 扫描电子显微镜(SEM)观察第30-31页
    3.3 不同因素对玉米醇溶蛋白膜性能的影响第31-39页
        3.3.1 乙醇浓度对玉米醇溶蛋白膜性能的影响第31-32页
        3.3.2 水浴捏合温度对玉米醇溶蛋白膜性能的影响第32-33页
        3.3.3 乙醇溶液的添加量对玉米醇溶蛋白膜性能的影响第33-34页
        3.3.4 增塑剂的添加量对玉米醇溶蛋白膜性能的影响第34-37页
        3.3.5 衬底材料对玉米醇溶蛋白膜成膜的影响第37页
        3.3.6 玉米醇溶蛋白膜玻璃态转移点测试实验结果分析第37-38页
        3.3.7 扫描电子显微镜(SEM)观察第38-39页
    3.4 玉米醇溶蛋白膜照片第39页
    3.5 本章小结第39-41页
第四章 基于玉米醇溶蛋白膜低温下ZnO生长的性能测试与结果分析第41-54页
    4.1 玉米醇溶蛋白膜低温下ZnO可控性生长的实验方案第41-42页
        4.1.1 射频磁控溅射的使用方法第41页
        4.1.2 低温生长ZnO的具体实验安排第41-42页
    4.2 玉米醇溶蛋白膜生长ZnO薄膜的各项性能测试第42-44页
        4.2.1 利用扫描电镜(SEM)观察膜的表面及截面面形貌第42页
        4.2.2 利用原子力显微镜(AFM)观察薄膜的表面形貌第42-43页
        4.2.3 X射线衍射仪(XRD)分析薄膜的结构特性第43页
        4.2.4 光谱仪(PL)分析薄膜的光致发光机制第43-44页
        4.2.5 能谱仪(EDS)分析薄膜的成分第44页
    4.3 不同氩氧比条件下溅射生长ZnO的测试结果分析第44-47页
        4.3.1 扫描电镜(SEM)的观察结果第44页
        4.3.2 原子力显微镜(AFM)的观察结果第44-46页
        4.3.3 X射线衍射仪(XRD)的分析结果第46-47页
        4.3.4 光谱仪(PL)的分析结果第47页
    4.4 不同溅射功率下生长ZnO的测试结果分析第47-51页
        4.4.1 扫描电镜(SEM)的观察结果第47-48页
        4.4.2 原子力显微镜(AFM)的观察结果第48-49页
        4.4.3 X射线衍射仪(XRD)的分析结果第49-50页
        4.4.4 光谱仪(PL)的分析结果第50-51页
    4.5 能谱仪(EDS)对薄膜的成分的分析结果第51-53页
    4.6 本章小结第53-54页
第5章 总结与展望第54-56页
    5.1 总结第54-55页
    5.2 展望第55-56页
参考文献第56-59页
攻读学位期间发表的学术论文第59-62页
致谢第62页

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