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倾斜溅射的[FeCoB/ZnO]_N多层膜软磁性和高频性能的研究

摘要第4-5页
ABSTRACT第5-6页
第一章 前言第9-16页
    1.1 研究背景第9页
    1.2 研究现状第9-16页
第二章 理论基础第16-30页
    2.1 软磁性理论第16-21页
    2.2 耦合理论第21-25页
        2.2.1 铁磁性理论第22页
        2.2.2 层与层之间的耦合作用第22-24页
        2.2.3 各向异性耦合理论第24-25页
    2.3 动态磁性理论第25-30页
        2.3.1 有效复数磁导率第25-26页
        2.3.2 电阻率第26-27页
        2.3.3 阻尼理论第27-30页
第三章 样品的制备及表征手段第30-42页
    3.1 磁控溅射的基本原理第30-33页
    3.2 制备工艺条件的选择第33-35页
    3.3 样品的表征手段第35-42页
        3.3.1 台阶仪第35页
        3.3.2 震动样品磁强计(VSM)第35-37页
        3.3.3 矢量网络分析仪第37-39页
        3.3.4 传统的四探针法测电阻率第39-42页
第四章 样品的制备和测试结果分析第42-60页
    4.1 倾斜溅射诱导各向异性理论第42-44页
    4.2 样品的制备与测试结果分析第44-60页
        4.2.1 倾斜溅射FeCoB-ZnO纳米颗粒薄膜的软磁性和高频性第44-51页
        4.2.2 Cu (10 nm)/[FeCoB (x nm)/ZnO (5 nm)]_N纳米多层膜性能的研究第51-54页
        4.2.3 Cu (10 nm)/[FeCoB (3 nm)/ZnO (t nm)]_(40) 软磁性和高频性的研究第54-57页
        4.2.4 [Fe_(45)Co_(45)B_(10) (x nm) / ZnO (8 nm)]_n多层膜的静态和动态磁性第57-60页
第五章 总结第60-62页
参考文献第62-67页
发表的论文第67-68页
致谢第68-69页

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