基于SU-8厚胶工艺的SAR型微混合器设计及实验研究
| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 1 绪论 | 第12-24页 |
| ·微机电系统概述 | 第12-14页 |
| ·微机电系统定义 | 第12页 |
| ·国外发展历程及研究现状 | 第12-13页 |
| ·国内发展历程及研究现状 | 第13-14页 |
| ·微流控系统 | 第14-15页 |
| ·微混合器研究现状 | 第15-20页 |
| ·微混合器综述 | 第15-16页 |
| ·被动式微混合器 | 第16-18页 |
| ·主动式微混合器 | 第18-20页 |
| ·课题研究意义和研究内容 | 第20-22页 |
| ·研究意义 | 第20-21页 |
| ·研究内容 | 第21页 |
| ·技术路线 | 第21-22页 |
| ·本章小结 | 第22-24页 |
| 2 分合式微混合器仿真 | 第24-34页 |
| ·微流体流动控制方程 | 第24-31页 |
| ·微流体基本动力学方程 | 第24-26页 |
| ·流体力学常数 | 第26-27页 |
| ·对流-扩散方程 | 第27-28页 |
| ·有限体积法 | 第28-31页 |
| ·微混合器仿真方法 | 第31-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 3 分合式微混合单元仿真设计 | 第34-52页 |
| ·分合式微混合单元原理概述 | 第34-36页 |
| ·相关评价指标 | 第36-38页 |
| ·混合效率 | 第36-37页 |
| ·压力损失 | 第37页 |
| ·分割比 | 第37-38页 |
| ·微混合单元单层深度h的优化 | 第38-41页 |
| ·微混合单元支路夹角θ优化 | 第41-46页 |
| ·微混合单元支路直段长度l的优化 | 第46-50页 |
| ·本章小结 | 第50-52页 |
| 4 微混合器制作工艺 | 第52-66页 |
| ·微机械加工工艺综述 | 第52-55页 |
| ·SU-8厚胶工艺 | 第55-61页 |
| ·SU-8光刻胶简介 | 第55-56页 |
| ·PDMS简介 | 第56页 |
| ·SU-8厚胶工艺步骤 | 第56-61页 |
| ·分合式微混合器制作 | 第61-62页 |
| ·直道微混合器制作 | 第62-63页 |
| ·斜阻块式微混合器制作 | 第63页 |
| ·组合分合式微混合器制作 | 第63-64页 |
| ·本章小结 | 第64-66页 |
| 5 混合实验及分析 | 第66-82页 |
| ·混合效果检测综述 | 第66页 |
| ·实验方法 | 第66-68页 |
| ·实验流体 | 第66-67页 |
| ·实验装置 | 第67-68页 |
| ·混合长度 | 第68-69页 |
| ·5%甘油-95%水的混合实验 | 第69-72页 |
| ·35%甘油-65%水的混合实验 | 第72-75页 |
| ·65%甘油-35%水的混合实验 | 第75-78页 |
| ·95%甘油-5%水的混合实验 | 第78-80页 |
| ·本章小结 | 第80-82页 |
| 6 总结与展望 | 第82-84页 |
| ·总结 | 第82-83页 |
| ·展望 | 第83-84页 |
| 参考文献 | 第84-92页 |
| 作者简历及在学期间取得的科研成果 | 第92页 |
| 作者简历 | 第92页 |
| 发表及录用的学术论文 | 第92页 |
