片上高品质因子边缘悬空硫化砷光学微盘腔

摘要	第1-7页
Abstract	第7-11页
第一章 绪论	第11-29页
·前言	第11-13页
·氧化硅回音壁模式光学微腔	第13-16页
·新材料光学微腔	第16-19页
·硫系玻璃光学简介	第19-28页
·硫系玻璃光纤和波导光学研究简介	第21-24页
·硫系玻璃WGM光学微腔研究简介	第24-28页
·本论文的研究动机和主要工作	第28-29页
第二章 边缘悬空硫化砷光学微盘腔的制备	第29-39页
·前言	第29-30页
·边缘悬空硫化砷光学微盘腔的制备流程	第30-38页
·热蒸发镀膜	第31-33页
·光刻制备硫化砷微盘腔	第33-36页
·套刻制备边缘悬空硫化砷光学微盘腔	第36-38页
·小结	第38-39页
第三章 样品表征	第39-55页
·前言	第39页
·硫化砷材料性质表征	第39-45页
·光学性能测量	第45-54页
·光学性能测量基本原理	第46-50页
·自由光谱范围和品质因子的测量	第50-52页
·临界耦合	第52-54页
·小结	第54-55页
第四章 总结与展望	第55-57页
·总结	第55页
·展望	第55-57页
参考文献	第57-65页
发表论文和专利	第65-67页
致谢	第67-68页