衍射光栅刻划机机械结构优化与定位控制研究
| 致谢 | 第1-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| Abstract | 第9-13页 |
| 插图清单 | 第13-16页 |
| 表格清单 | 第16-17页 |
| 第一章 绪论 | 第17-25页 |
| ·引言 | 第17-18页 |
| ·研究背景及意义 | 第18-20页 |
| ·国内外研究现状和发展趋势 | 第20-24页 |
| ·衍射光栅制造技术概述 | 第20-23页 |
| ·大面积高精度机械刻划光栅制造的国内发展现状 | 第23-24页 |
| ·本论文的主要研究内容及结构安排 | 第24-25页 |
| 第二章 光栅刻划机机械结构与控制优化方法研究 | 第25-37页 |
| ·引言 | 第25页 |
| ·光栅刻划机工作原理 | 第25-28页 |
| ·刻划槽线的原理 | 第25-26页 |
| ·光栅刻划机工作方式 | 第26-27页 |
| ·罗兰型光栅刻划机的三种刻划方式 | 第27-28页 |
| ·光栅刻划机结构优化设计综述 | 第28-30页 |
| ·大面积高精度光栅刻划机定位系统的控制策略 | 第30-32页 |
| ·光栅刻划机机械结构优化与定位控制拟研究问题 | 第32-36页 |
| ·问题一：基于运动分析的刻划系统结构优化 | 第32-34页 |
| ·问题二：基于结构动力学特性的分度系统结构优化 | 第34-35页 |
| ·问题三：基于模态分析的刀桥结构改进 | 第35页 |
| ·问题四：宏微两级定位系统建模及控制研究 | 第35-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 光栅刻划机传动系统优化设计 | 第37-62页 |
| ·引言 | 第37页 |
| ·刻划系统的优化设计 | 第37-55页 |
| ·刻划系统虚拟样机建模 | 第38-39页 |
| ·曲柄滑块式刻划机构的虚拟样机仿真分析 | 第39-43页 |
| ·现有等速凸轮机构的仿真分析 | 第43-44页 |
| ·刻划系统优化设计的两条思路 | 第44-45页 |
| ·等速凸轮机构的优化 | 第45-53页 |
| ·刻划系统电子凸轮的设计方案 | 第53-55页 |
| ·分度系统之蜗轮结构多目标优化 | 第55-61页 |
| ·目标函数的确定 | 第55-56页 |
| ·设计变量与设计空间 | 第56页 |
| ·正交试验概述 | 第56-57页 |
| ·蜗轮刚度惯量两指标正交试验及结果分析 | 第57-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第四章 光栅刻划机刀桥结构的改进 | 第62-70页 |
| ·引言 | 第62页 |
| ·刀桥模态分析 | 第62-65页 |
| ·模态分析基本理论 | 第62-63页 |
| ·刀桥有限元模态分析 | 第63-65页 |
| ·刀桥结构改进 | 第65-69页 |
| ·结构优化设计概述 | 第66-67页 |
| ·基于振动优化的刀桥结构改进 | 第67-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 第五章 光栅刻划机定位系统建模与控制研究 | 第70-81页 |
| ·引言 | 第70页 |
| ·宏定位系统的建模 | 第70-75页 |
| ·拉杆-定位平台系统传递函数的建立 | 第70-72页 |
| ·拉杆-定位平台系统响应分析 | 第72-73页 |
| ·拉杆-定位平台系统动态特性改进方案 | 第73-75页 |
| ·微定位系统的建模 | 第75-78页 |
| ·微定位系统传递函数的建立 | 第75-76页 |
| ·微定位系统响应分析及参数初步改进 | 第76-78页 |
| ·微定位系统 PID 控制器设计 | 第78-80页 |
| ·PID 控制器概述 | 第78-79页 |
| ·微定位系统 PID 控制参数选择 | 第79-80页 |
| ·本章小结 | 第80-81页 |
| 第六章 总结与展望 | 第81-83页 |
| ·主要研究工作 | 第81页 |
| ·后续工作展望 | 第81-83页 |
| 参考文献 | 第83-87页 |
| 附录 | 第87-91页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第91-92页 |
