新型MEMS压阻高冲击加速度传感器技术研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-19页 |
| ·MEMS技术发展和应用概述 | 第7-16页 |
| ·研究背景 | 第16页 |
| ·国内外现状 | 第16页 |
| ·研究目的和意义 | 第16-17页 |
| ·研究内容 | 第17-19页 |
| 第二章 高冲击压阻加速度传感器设计和仿真 | 第19-37页 |
| ·总体方案设计 | 第19页 |
| ·压阻式传感器工作原理 | 第19-20页 |
| ·硅压阻效应机理 | 第20-24页 |
| ·压阻高冲击加速度传感器设计 | 第24-28页 |
| ·压阻高冲击加速度传感器结构仿真设计 | 第28-32页 |
| ·封装设计 | 第32-33页 |
| ·可靠性设计 | 第33-34页 |
| 本章小结 | 第34-37页 |
| 第三章 高冲击压阻加速度传感器制造工艺 | 第37-55页 |
| ·压阻高冲击加速度传感器芯片工艺设计 | 第37-38页 |
| ·单项技术研究 | 第38-55页 |
| 第四章 冲击电路设计 | 第55-61页 |
| ·冲击电路原理 | 第55页 |
| ·电路信号路径分析 | 第55页 |
| ·主要电路部分参数 | 第55-61页 |
| 第五章 高冲击加速度传感器封装技术研究 | 第61-65页 |
| ·一级封装——无引线环氧封装技术 | 第61-62页 |
| ·二级封装——壳体灌封 | 第62-65页 |
| 第六章 冲击测试技术研究 | 第65-77页 |
| ·冲击测试 | 第65-70页 |
| ·冲击测试实验总结 | 第70-71页 |
| ·可靠性设计和测试 | 第71-77页 |
| 第七章 结束语 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-80页 |
| 研究成果 | 第80-81页 |
