| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-16页 |
| 第1章 绪论 | 第16-31页 |
| ·引言 | 第16-17页 |
| ·硬质薄膜的分类 | 第17页 |
| ·本征硬质薄膜 | 第17页 |
| ·微结构强化硬质薄膜 | 第17页 |
| ·纳米复合膜 | 第17-19页 |
| ·纳米复合膜研究现状与进展 | 第17-18页 |
| ·纳米复合膜的致硬机理 | 第18-19页 |
| ·纳米多层膜 | 第19-23页 |
| ·纳米多层膜的定义与分类 | 第19-20页 |
| ·纳米多层膜的硬度 | 第20-23页 |
| ·纳米多层膜热稳定性 | 第23页 |
| ·摩擦与磨损 | 第23-28页 |
| ·摩擦 | 第23-26页 |
| ·磨损 | 第26-28页 |
| ·润滑 | 第28页 |
| ·选题意义与研究内容 | 第28-31页 |
| ·选题意义 | 第28-29页 |
| ·研究内容 | 第29-31页 |
| 第2章 薄膜的制备与表征 | 第31-36页 |
| ·薄膜的制备方法与实验设备 | 第31-33页 |
| ·薄膜的制备方法 | 第31-33页 |
| ·实验设备 | 第33页 |
| ·薄膜基片处理方法 | 第33页 |
| ·薄膜检测方法与设备 | 第33-36页 |
| ·X 射线衍射（XRD） | 第33-34页 |
| ·扫描电子显微镜（SEM） | 第34页 |
| ·能量色散谱仪(EDS) | 第34页 |
| ·纳米压痕仪 | 第34-35页 |
| ·摩擦磨损试验机 | 第35-36页 |
| 第3章 TiCN 复合膜的微结构及性能 | 第36-49页 |
| ·实验材料与方法 | 第36-37页 |
| ·薄膜制备 | 第36-37页 |
| ·表征 | 第37页 |
| ·结果与讨论 | 第37-48页 |
| ·显微结构 | 第37-39页 |
| ·沉积速率及力学性能 | 第39-42页 |
| ·TiCN 复合膜的摩擦磨损性能 | 第42-48页 |
| ·结论 | 第48-49页 |
| 第4章 TiVCN 复合膜的微结构、力学性能与摩擦磨损性能 | 第49-64页 |
| ·实验材料及方法 | 第49-51页 |
| ·薄膜制备 | 第49-50页 |
| ·薄膜表征 | 第50-51页 |
| ·实验结果与讨论 | 第51-63页 |
| ·微结构 | 第51-52页 |
| ·力学性能 | 第52-54页 |
| ·摩擦磨损性能 | 第54-63页 |
| ·结论 | 第63-64页 |
| 第5章 TiN/VCN 多层膜的力学性能及摩擦磨损性能 | 第64-75页 |
| ·实验材料及方法 | 第64-65页 |
| ·薄膜制备 | 第64-65页 |
| ·薄膜表征 | 第65页 |
| ·结果与讨论 | 第65-74页 |
| ·微结构 | 第65-66页 |
| ·力学性能 | 第66-67页 |
| ·摩擦磨损性能 | 第67-74页 |
| ·结论 | 第74-75页 |
| 第6章 TiCN/VCN 纳米多层膜的力学性能和摩擦磨损性能 | 第75-86页 |
| ·实验材料及方法 | 第75-76页 |
| ·薄膜制备 | 第75-76页 |
| ·薄膜表征 | 第76页 |
| ·结果与讨论 | 第76-85页 |
| ·力学性能 | 第76-78页 |
| ·摩擦磨损性能 | 第78-85页 |
| ·结论 | 第85-86页 |
| 结论 | 第86-88页 |
| 参考文献 | 第88-95页 |
| 攻读硕士学位期间所发表的学术论文 | 第95-96页 |
| 致谢 | 第96-97页 |
| 展望 | 第97页 |
