| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-37页 |
| ·论文选题的背景和意义 | 第11-12页 |
| ·传统磁敏传感器简介 | 第12-14页 |
| ·MEMS磁敏传感器的研究概况 | 第14-35页 |
| ·基于洛伦兹力的MEMS磁敏传感器 | 第15-24页 |
| ·基于铁磁介质的MEMS磁敏传感器 | 第24-33页 |
| ·MEMS磁敏传感器总结 | 第33-35页 |
| ·论文的研究内容 | 第35-37页 |
| 第2章 MEMS铁磁磁敏传感器的基础理论 | 第37-47页 |
| ·磁介质及磁化 | 第37-39页 |
| ·退磁场理论 | 第39-43页 |
| ·长方体磁介质的退磁场 | 第39-40页 |
| ·圆柱形磁介质的退磁场 | 第40-43页 |
| ·磁介质的磁各向异性 | 第43-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第3章 基于硅桥的新型MEMS铁磁磁敏传感器的结构与原理 | 第47-64页 |
| ·基于硅桥结构的MEMS铁磁磁敏传感器的结构 | 第47-49页 |
| ·硅桥的理论分析 | 第49-60页 |
| ·硅的压阻效应 | 第49-54页 |
| ·惠斯通电桥的工作原理 | 第54-56页 |
| ·薄板理论 | 第56-60页 |
| ·磁-结构耦合效应 | 第60-62页 |
| ·新型MEMS铁磁磁敏传感器的输出特性 | 第62-63页 |
| ·外加磁场小于饱和磁场时新型MEMS铁磁磁敏传感器的输出特性 | 第62-63页 |
| ·外加磁场大于饱和磁场时新型MEMS铁磁磁敏传感器的输出特性 | 第63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第4章 基于硅桥的新型MEMS铁磁磁敏传感器的有限元仿真 | 第64-75页 |
| ·ANSYS简介 | 第64-65页 |
| ·铁磁体磁化情况的仿真 | 第65-67页 |
| ·微型圆柱形铁磁体磁化情况仿真 | 第65-66页 |
| ·微型正方形铁磁体磁化情况仿真 | 第66-67页 |
| ·新型MEMS铁磁磁敏传感器的仿真 | 第67-74页 |
| ·微型圆柱形铁磁磁敏传感器的仿真 | 第68-72页 |
| ·微型正方形铁磁磁敏传感器的仿真 | 第72-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 第5章 新型MEMS铁磁磁敏传感器的实验与分析 | 第75-93页 |
| ·基于铁磁体的新型MEMS磁敏传感器的制备 | 第75-76页 |
| ·实验设备 | 第76-77页 |
| ·SFMS的主要性能测试及分析 | 第77-81页 |
| ·CSMS的主要性能测试及分析 | 第81-89页 |
| ·TSMS的主要性能测试及分析 | 第89-92页 |
| ·本章小结 | 第92-93页 |
| 第6章 基于磁流变弹性体磁弹性效应的新型MEMS磁敏传感器 | 第93-104页 |
| ·MRE的简介 | 第93-94页 |
| ·MRE的制备 | 第94-95页 |
| ·MRE的磁弹性效应的形成机理 | 第95-96页 |
| ·基于硅桥和MRE的新型MEMS磁敏传感器 | 第96-99页 |
| ·基于MRE的新型MEMS磁敏传感器的结构 | 第96-97页 |
| ·基于MRE的新型MEMS磁敏传感器的工作原理 | 第97-98页 |
| ·基于MRE的新型MEMS磁敏传感器的制备 | 第98-99页 |
| ·基于MRE的新型MEMS磁敏传感器的测试及分析 | 第99-103页 |
| ·本章小结 | 第103-104页 |
| 结论与展望 | 第104-106页 |
| 致谢 | 第106-107页 |
| 参考文献 | 第107-117页 |
| 附录 | 第117-129页 |
| 攻读博士论文期间发表的论文及科研成果 | 第129-130页 |
