Kapton薄膜及防护膜的原子氧侵蚀行为研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪 论 | 第8-19页 |
| ·课题背景 | 第8-9页 |
| ·Kapton薄膜的应用与发展 | 第9-10页 |
| ·近地轨道环境对Kapton薄膜的性能影响 | 第10-16页 |
| ·原子氧对Kapton薄膜的性能影响 | 第11-15页 |
| ·原子氧的地面模拟 | 第15页 |
| ·近地轨道环境中影响Kapton薄膜的其它因素 | 第15-16页 |
| ·Kapton薄膜保护方式研究现状 | 第16-18页 |
| ·本文研究目的和主要研究内容 | 第18-19页 |
| 第2章 材料及试验方法 | 第19-23页 |
| ·试验材料 | 第19页 |
| ·基体材料 | 第19页 |
| ·镀膜靶材 | 第19页 |
| ·试验方法 | 第19-20页 |
| ·成分及形貌分析 | 第20-21页 |
| ·X射线光电子能谱分析(XPS) | 第20页 |
| ·X射线衍射分析(XRD) | 第20页 |
| ·微观形貌观察 | 第20-21页 |
| ·性能测试 | 第21-23页 |
| ·原子氧地面模拟试验 | 第21页 |
| ·防护膜与Kapton结合力分析 | 第21-22页 |
| ·光的透射率与反射率测试 | 第22-23页 |
| 第3章 防护膜成分及微观形貌 | 第23-37页 |
| ·防护膜的成分分析 | 第23-28页 |
| ·防护膜的微观形貌 | 第28-32页 |
| ·防护膜的厚度 | 第28-29页 |
| ·防护膜的表面形貌 | 第29-32页 |
| ·防护膜与Kapton的结合性能 | 第32-36页 |
| ·镀膜负偏压防护膜与Kapton结合力的影响 | 第32页 |
| ·镀膜时间对防护膜与Kapton结合力的影响 | 第32-34页 |
| ·不同工艺制备的防护膜与Kapton结合力的比较 | 第34-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第4章 Kapton薄膜的抗原子氧侵蚀性能 | 第37-43页 |
| ·原子氧侵蚀前后Kapton薄膜质量 | 第37-38页 |
| ·原子氧侵蚀前后Kapton薄膜表面形貌 | 第38页 |
| ·原子氧侵蚀前后Kapton薄膜光的透射率 | 第38-39页 |
| ·原子氧侵蚀前后Kapton薄膜XPS分析 | 第39-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第5章 防护膜的抗原子氧侵蚀性能 | 第43-51页 |
| ·原子氧侵蚀前后防护膜质量 | 第43-46页 |
| ·不同靶材制备的防护膜质量损失 | 第43-44页 |
| ·不同反应气氛制备的防护膜质量损失 | 第44页 |
| ·不同镀膜负偏压防护膜的质量损失 | 第44-45页 |
| ·不同镀膜时间防护膜的质量损失 | 第45-46页 |
| ·防护膜与Kapton质量损失比较 | 第46页 |
| ·原子氧侵蚀前后防护膜表面形貌 | 第46-47页 |
| ·原子氧侵蚀前后防护膜光的反射率 | 第47-48页 |
| ·原子氧侵蚀前后防护膜XPS分析 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 结论 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-56页 |
| 哈尔滨工业大学硕士学位论文原创性声明 | 第56页 |
| 哈尔滨工业大学硕士学位论文使用授权书 | 第56页 |
| 哈尔滨工业大学硕士学位涉密论文管理 | 第56-58页 |
| 致谢 | 第58页 |
