室温薄膜型微型氢气传感器研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
1 绪论	第8-15页
引言	第8-9页
·氢气传感器的传感方式选择	第9-10页
·金属氧化物半导体氢气传感器	第10-12页
·金属氧化物气敏材料研究的国内外现状	第12-13页
·研究重点与技术方案	第13-15页
2 敏感材料的选择	第15-24页
·敏感材料的特性	第15-18页
·以降低工作温度为目的所寻找的新的氢敏材料	第18-21页
·氧化镧对H2 的敏感机理	第21-24页
3 传感器芯片的设计与制作	第24-35页
·敏感膜的设计与制作工艺	第24-25页
·传感器芯片的设计与制作工艺	第25-27页
·敏感薄膜与传感器芯片的制作	第27-35页
4 传感器芯片性能分析	第35-44页
·测试装置与测试步骤	第35-37页
·对氢气的敏感特性	第37-38页
·CO 对敏感层的毒化	第38-39页
·敏感材料的稳定性	第39-41页
·CO 对敏感层的毒化机理研究	第41-42页
·敏感层阻值不稳定的原因	第42-44页
5 总结与展望	第44-47页
·总结	第44-45页
·技术展望	第45-47页
致谢	第47-48页
参考文献	第48-52页
附录 攻读硕士学位期间发表的论文目录	第52页